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浙江弘晨光伏能源有限公司第 1 页, 共 2 页PECVD 工艺指导书 文件编号 HC-DCGY-005 版本号 1 编制 审 核 批准 发 布日期1. 目的经过二次清洗后的硅片表面无任何保护层,在后续工序中易受到损坏;利用 PECVD 在硅片表面生长一层氮化硅保护层,可有效防止表面受到损坏...
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下载价格:3 金币 / 发布人: 情深不寿 ゞ / 发布时间:2018-08-24 / 323人气
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点击查看更多“RF-PECVD制备非晶硅膜及HIT太阳电池的研究”精彩内容。
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Safety Manual CYCLONE TM PLUS JUSUNG Engineering Co., Ltd. Page Revision 1.0 1-1 User’s ManualPreliminary World’s Best People, World’s Best Products,
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 570人气
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PECVD等离子增强化学气相淀积 Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 一、镀膜原理 二、管式 PECVD 镀膜的各工艺参数具体控制范围 三、PECVD 膜的作用、简述膜的特性。 四、常见的异常情况 一、镀膜原理 所谓等离子体,是指气体在一定条件下受到高
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SiNxH减反射膜 和 PECVD技术 目录 v SiNxH简介 v SiNxH在太阳电池中的应用 v PECVD原理 v光学特性和钝化技术 v系统结构及安全事项 2 SiNxH简介 v正常的 SiNx的 Si/N之比为 0.75,即 Si3N4。 但是 PECVD沉积氮化硅的化学计量比会随 工艺不
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PECVD 工艺腔加热功率调整方法说明 张小亮 2013-08-08 工艺腔加热模块组成简述 调整方法说明 加热功率对工艺腔温度分布的影响 工艺腔加热模块组成简述( 1) 加热板内部加热电阻结构如下 加热电阻 1----1A 加热电阻 2----2A 加热电阻 3----3A 工艺腔加热板分布如
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PECVD 微波产生原理 缪国芳 李佳良 微波功率系统组成 微波功率系统简图 微波电源的功能 磁控头的构造 微波的传导 1微波功率系统组成( 1) 以上为主机通过 CAN通讯方式控制微波电源及 所有磁控头的图列。 2微波功率系统简图( 1) 以上为主机通过通过微波电源控制磁...
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用于太阳电池的等离子体技术 中科院电工研究所 王文静 用于太阳电池的等离子体技术 PECVD技术 –制备晶体硅太阳电池的减反射和钝化膜 –用于电池片边缘的刻蚀 –非晶硅薄膜制备技术 –非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的制备 磁控溅射技术 –制备晶体硅太阳电池的减反射...
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PECVD ----- 李文 2010-5 第1章 PECVD 原理 1.1 减反射膜光学原理 1.2 PECVD 沉积原理 1.2.1 等离子体概述 1.2.2 薄膜沉积理论 第2章 PECVD 设备 2.1 真空系统 2.1.1 真空 2.1.2 真空获取与检漏 2.2 设备结构 2.2.1 R
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