Contents lists available at ScienceDirect Solar Energy Materials and Solar Cells journal homepage www.elsevier.com/locate/solmat High efficiency n-type
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 575人气
点击查看更多“PECVD制备多层氮化硅减反膜的工艺研究”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 508人气
点击查看更多“等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程的毕业设计/论文”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 532人气
© 1994-2007 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http//www.cnki.net © 1994-2007 China Academic Journal Electronic
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 401人气
PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 毕业设计(论文) ( 2013 届) 题 目 PECVD制备氮化硅薄膜的研究进展 学 号 1003020147 姓 名 钟建斌 所 属 系 新能源科学与工程学院 专 业 材料加工及技术应用 班 级 10 材料( 1)班 指导教师 胡耐根 新余学院教务处制 PECV
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 766人气
centrotherm CESAR Recipe Description PECVD SiNx Deposition Version 2.0 Reg97, CAN EFM CESAR Recipe Description PECVD SiNx 03.11.2009 © centrotherm 1
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 734人气
精曜科技 ARCHERS SYSTEMS www.ArchersSystems.com 精曜科技 S SYSTEMS 精曜科技高效异质结 HJT电 池 量 产关键设备 -PECVD与 RPD 精曜科技 / Archers Systems 副总 经理 陈 麒麟博士 Enabling Innovatio
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 1488人气
管式 PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究 来源深圳市大族光伏科技股份有限公司 作者 李军阳 时间 2011-09-19 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流,然而由于用 PECVD 来制备的氮化硅膜,是以 SixNyHz 方式来表达的,其中的...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 393人气
PECVD ----- 李文 2010-5 第1章 PECVD 原理 1.1 减反射膜光学原理 1.2 PECVD 沉积原理 1.2.1 等离子体概述 1.2.2 薄膜沉积理论 第2章 PECVD 设备 2.1 真空系统 2.1.1 真空 2.1.2 真空获取与检漏 2.2 设备结构 2.2.1 R
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 496人气
点击查看更多“PECVD工艺程序说明1.0”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 429人气
用于太阳电池的等离子体技术 中科院电工研究所 王文静 用于太阳电池的等离子体技术 PECVD技术 –制备晶体硅太阳电池的减反射和钝化膜 –用于电池片边缘的刻蚀 –非晶硅薄膜制备技术 –非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的制备 磁控溅射技术 –制备晶体硅太阳电池的减反射...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 672人气
PECVD 微波产生原理 缪国芳 李佳良 微波功率系统组成 微波功率系统简图 微波电源的功能 磁控头的构造 微波的传导 1微波功率系统组成( 1) 以上为主机通过 CAN通讯方式控制微波电源及 所有磁控头的图列。 2微波功率系统简图( 1) 以上为主机通过通过微波电源控制磁...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 761人气
点击查看更多“PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 464人气
3 北 京 市 科 技 新 星 计 划 资 助 项 目 H020821480130 收 稿 日 期 2003211206 PECVD 沉 积 氮 化 硅 薄 膜 在 退 火 过 程 中 的 特 性 变 化 及 在 太 阳 电 池 中 的 应 用 3 叶 小 琴 1 许 颖 2 李 艳 1 顾 雅 华
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 462人气
昆山迅立光电设备有限公司 迅立光电设备有限公司保密资料- 未经许可不得外传 高端真空镀膜设备的研发和制造 光伏 平板显示 半导体 节能建 筑 汽车 零部件 新 材料研 发 医疗器 械 非晶硅/ 晶体硅异质结(HAC )光伏 发展与 国产化 论坛 2018.11.18 江西南昌 动态在...
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 957人气
PECVD 工艺腔加热功率调整方法说明 张小亮 2013-08-08 工艺腔加热模块组成简述 调整方法说明 加热功率对工艺腔温度分布的影响 工艺腔加热模块组成简述( 1) 加热板内部加热电阻结构如下 加热电阻 1----1A 加热电阻 2----2A 加热电阻 3----3A 工艺腔加热板分布如
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 408人气
SiNxH减反射膜 和 PECVD技术 目录 v SiNxH简介 v SiNxH在太阳电池中的应用 v PECVD原理 v光学特性和钝化技术 v系统结构及安全事项 2 SiNxH简介 v正常的 SiNx的 Si/N之比为 0.75,即 Si3N4。 但是 PECVD沉积氮化硅的化学计量比会随 工艺不
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 557人气
PECVD等离子增强化学气相淀积 Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 一、镀膜原理 二、管式 PECVD 镀膜的各工艺参数具体控制范围 三、PECVD 膜的作用、简述膜的特性。 四、常见的异常情况 一、镀膜原理 所谓等离子体,是指气体在一定条件下受到高
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 450人气
点击查看更多“PECVD氮化硅薄膜制备与微结构研究”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 456人气
点击查看更多“PECVD工艺工程师手册”精彩内容。
下载价格:5 金币 / 发布人: 王保平 / 发布时间:2019-08-19 / 440人气