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第四章硅的体单晶生长和硅片加工

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第四章硅的体单晶生长和硅片加工（87页）

第四章硅的体单晶生长和硅片加工193 第四章硅的体单晶生长和硅片加工4． 1 概述如果认为硅的提纯是典型的化工过程的话，那么从高纯度的多晶硅生长单晶硅则是半导体器件制造的第一步。虽然尝试过各种技术来将多晶硅转变为单晶硅，最后只有两种技术被应用于单晶硅的...

下载价格：3 金币 / 发布人：索比杜金泽 / 发布时间：2018-08-21 / 263人气

第一章硅单晶生长和硅片准备

56

第一章硅单晶生长和硅片准备（56页）

1第一章硅单晶生长和硅片准备硅 Si 材料现在是电子工业中最重要的半导体材料，因此 VLSI 技术几乎完全以硅材料为基础。 “ silicon“ 这名称来源于拉丁语 “ silex“ 或 “ silicis “，意

下载价格：3 金币 / 发布人：索比杜金泽 / 发布时间：2018-08-21 / 264人气

硅单晶生长和硅片准备

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硅单晶生长和硅片准备（56页）

1第一章硅单晶生长和硅片准备硅 Si 材料现在是电子工业中最重要的半导体材料，因此 VLSI 技术几乎完全以硅材料为基础。 “ silicon“ 这名称来源于拉丁语 “ silex“ 或 “ silicis “，意

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