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10001783_磁控溅射沉积CdSe薄膜性质的研究（3页）

磁控溅射沉积 CdSe 薄膜性质的研究曾广根 1,2，* ，刘阳 1，李宏宇 1，黎兵 1，张静全 1，李卫 1，武莉莉 1，冯良桓 1，王琼华 2 1 四川大学材料科学与工程学院成都 610064 2 四川大学电子信息学院成都 610065 *通信作者，从事光电材料与器件方面的研究，zeng

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*基金项目国家自然科学基金资助项目（11474248，61176127，61006085）；国际科技合作重点项目（2011DFA62380）；教育部博士点基金（20105303120002） †通讯作者简介郝瑞亭1979，男，博士，副教授，主要从事探测器及太阳能电池的制备方面的研究。 Emai

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磁控溅射沉积温度对铜锌锡硫薄膜影响的研究曾淳泓 1，3 ，蒋金春 2，3 ，张林泉 1，3 ，曾龙龙 1，3 ，周建 1，3 ，洪瑞江 1，3 1. 中山大学物理学院 2. 中山大学材料科学与工程学院 3. 中山大学太阳能系统研究所摘要通过磁控溅射，以固定比例的铜锌锡硫CZTS四...

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1 基于四元靶的铜铟镓硒薄膜一步溅射方法及其退火处理曾龙龙，张林泉，蒋金春，曾淳泓，周建，洪瑞江 * （中山大学太阳能系统研究所，广东省光伏技术重点实验室，广东广州 510006）摘要通过四元靶一步 RF 溅射及退火处理，在加热衬底上得到了非分层、结晶性良好 ...

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溅射制备双层 ZnO,S缓冲层及ZnO,S/CIGS器件性能研究史思涵，范玉，林舒平，刘杨，程世清，张运祥，何志超，周志强，刘芳芳，孙云, 刘玮 * 天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室南开大学电子信息与光学工程学院天津 300350 摘要利用溅射法制备ZnO,S薄膜代替CdS作...

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