1 TRM-100 操作说明产品介绍HS-TRM-100 型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流( Eddy Current)测试技术,能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。无接触式电阻率型号测试仪 -产品特点■ 测试范围广,低阻可测至 0.001ohm.cm,甚至 0.000
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OF MECHANICAL ENGINEERING 第 46 卷第 16 期20 1 0 年 8 月Vol.46 No.16 Aug. 2 0 1 0 DOI 10.3901/JME.2010.16.189 旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究 *阮晓东 郭丽媛 傅 新 邹 俊浙江大学流
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