浙江弘晨光伏能源有限公司第 1 页, 共 2 页PECVD 工艺指导书 文件编号 HC-DCGY-005 版本号 1 编制 审 核 批准 发 布日期1. 目的经过二次清洗后的硅片表面无任何保护层,在后续工序中易受到损坏;利用 PECVD 在硅片表面生长一层氮化硅保护层,可有效防止表面受到损坏...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-15 / 365人气