切片线痕分析与对策线痕分类 杂质线痕 、 划伤线痕 、 密布线痕 、 错位线痕 、 边缘线痕 。各种线痕产生原因如下① 杂质线痕 由多晶硅锭内杂质引起,在切片过程中无法完全去除,导致硅片产生相关线痕。表现形式⑴线痕上有可见黑点,即杂质点。⑵无可见杂质黑点,但...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-17 / 262人气