促进硅片表面清洗干净均匀装置的开发(一) 技术领域本实用新型涉及半导体硅片清洗干净均匀的机构。(二) 背景技术在半导体体硅片超声波清洗机构中,超声波能量均匀的作用到硅片表面上,以更好的对硅片表面起到干净均匀的清洗效果。但是在现有的硅片超声波清洗机构...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 310人气
1 说 明 书用于传送硅片的自动上料台技术领域本实用新型涉及一种自动上料台,尤其涉及一种用于传送硅片的自动上料台。(若有问题,请直接在修订模式下修改,谢谢)5 背景技术自动上料机是工业生产中常用的设备。图 1 为现有的自动上料台结构示意图。请参见图 1,现有...
下载价格:3 金币 / 发布人: 索比杜金泽 / 发布时间:2018-08-21 / 298人气