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硅片传输定位机器人的设计

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硅片传输定位机器人的设计（8页）

硅片传输定位机器人的设计张士军 1，金洙吉，康仁科，丛明（大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024）摘要本文针对大直径硅片的高速自动化生产对硅片的高效、高精度、高可靠性传输要求，确定基于 3 自由度的 R-θ型硅片传输定位机器人方案，...

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硅片定位边

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硅片定位边（1页）

3）硅片定位边或定位槽在硅锭上做一个定位边来标明晶体结构和硅片的晶向。主定位边标明了晶体结构的晶向，如图 2.12 所示。还有一个次定位边标明硅片的晶向和导电类型。六吋以下的硅片都是如此定位的。八吋及以上的硅片已采用定位槽，具有定位槽的硅片在硅片背...

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基于图像传感器的太阳能电池片定位系统

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基于图像传感器的太阳能电池片定位系统（4页）

电子工业专用设备Equipment for Electronic Products ManufacturingEPE（总第 233 期）Jul． 2014收稿日期 2014-04-28基于图像传感器的太阳能电池片定位系统吴振锋１，２1. 太原理工大学，山西太原， 030

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