扩建年产硅片电极15000片生产线建设项目环境影响报告表

. . 扩建年产硅片电极 15000 片生产线建设项目环境影响报告表（试 行）. . 建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表 由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1. 项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字（两个英文字段作一个汉字） 。2. 建设地点指项目所在地详细地址， 公路、 铁路应填写起止地点。3. 行业类别按国标填写。4. 总投资指项目投资总额。5. 主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6. 结论与建议给出本项目清洁生产、 达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7.预审意见由行业主管部门填写答复意见， 无主管部门项目， 可不填。8.审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。. . 建设项目基本情况项目名称 扩建年产硅片电极 15000 片生产线建设单位 半导体设备技术有限公司法人代表 联 系 人通讯地址联系电话 传 真 邮政编码建设地点 工业园区立项审批部门 批准文号 XXXXXXXXXXX 建设性质 易地扩建□ 新建□改扩建 □ 技改□ 行业类别 及代码 C3169 占地面积平方米 1000 绿化面积 平方米 总投资万元 500 其中环保投资（万元） 25 环保投资占总投资比例 5 评价经费（万元） 10 预期投产日期原辅材料（包括名称、用量）及主要设施规格、数量（包括锅炉、发电机等）原材料（包括名称，用量）辅助材料（包括名称，用量）√序 号 名 称 单 位 原 量 增 量1 硅片 片 /年 4500 10500 2 水 t/a 3000 5100 3 电 千瓦时 /年 100 233 4 研磨剂 t/a 0.4 0.93 5 研磨粉 t/a 2.5 5.83 6 超声波清洗剂 t/a 0.2 0.47 7 抛光剂 t/a 0.3 0.7 8 4-1-6 酸 t/a 2.5 5.83 9 6-1-1 酸 t/a 1.5 3.5 10 HF 酸 t/a 0.5 1.17 11 硅藻土 t/a 2 4.67 序 号 名 称 单 位 原 量 增 量1 硅片电极 片 /年 4500 10500 . 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 主要设施规格，数量主要原材料及能源消耗水及能源消耗量名称 消耗量 名称 消耗量水（ t/a） 5600 燃油（ t/a）电（千瓦时 /年） 4000 燃气（标立方米 /年）燃煤（ t/a） 其它废水 工业废水、生活污水 排放量及排放去向扩建工程废水总排放量，其中工业废水排放量为，生活污水排放量为 57.6 t/a。污水通过市政污水管网进园区污水处理厂处理， 其中项目中的研磨、 抛光污水需进行预处理， 而车间场地冲洗用水 ,制纯水不合格水 ,清洗废水 ,生活污水 ,酸洗废水为直排污水， 尾水排入吴淞江。放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况无序 号 设 备 名 称 数 量 规格，型号1 CNC-300机床 2 台 HAAS SL-30 2 CNC机床 3 台 HAAS VF-4 3 抛光机 1 台 20B 4 研磨机 1 台 20B 5 打标机 1 台6 超声波清洗机 1 台 五站式7 超声波清洗机 1 台 两站式8 空气压缩机 2 台 恺撒9 纯水制备系统 1 套 I 纯水净化系统10 污水预处理系统 1 套. . 工程内容及规模1）项目名称扩建年产硅片电极 15000 片生产线（ 2）建设单位 半导体设备技术有限公司（ 3）建设性质扩建（ 4）建设地点 工业园区（ 5）建设内容及平面布置项目为扩建项目，为生产规模扩大，原生产 4500 片 /年的硅片电极，现扩产到 15000 片 / 年。（ 6）产品及生产规模现硅片电极扩产到 15000 片 / 年。（ 7） 工作制度及定员 本项目实行三班制， 每班 8 小时， 白天生产， 年工作 300 天。本项目投入运行后，原有职工 50 人，新增员工 10 人建设项目（扩建项目）主体工程及产品方案序号工程名称（车间、生产装置或生产线）产品名称及规格设计能力 年运行时数扩建 前 扩建 后 增量1 生产工程硅片，硅片电极10500 片 /年15000 片 /年 450 片 / 年2 纯水制备工程100 级纯水不达标水3 污水处理工程 直排污水 700 t/a公用及辅助工程建设名称 设计能力 备 注贮运工程公用工程给水、排水、供热、供汽、供电、供气、绿化等DI 水系统提供水配电生产用水取自厂区市政水网环保工程废气处理废水处理 硅藻土吸附固废处置其 他. 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 与拟建项目有关的原有污染情况及主要环境问题1、 废 水现有硅片电极生产装置废水主要来源于生产过程中的超声清洗产生的废水，年产生量为 2030 m3 。废水采取中和、沉淀和生化处理后废水 pH 值在 6-9 之间、 CODCr年的排放浓度小于 100 mg/L、的排放浓度小于 10mg/L 。排放浓度符合污水综合排放标准（ GB8978-1996）表中三级标准2 、废气（ 1）有组织排放尾气见下表表 3 有组织尾气排放情况表项目 污染物 排放浓度mg/m3 排 放 速 率kg/h 排 放 量kg/a 排气筒高 度m 是否达标A 装置氮氧化物 10 20 600 15 达标B 装置氮氧化物 15 20 500 20 达标（ 2）无组织排放的废气根据 市环境监测中心站的监测报告，氮氧化物周界外排放浓度符合大气污染物综合排放标准 （ GB16297-1996）表中的二级标准。3、固体废物硅片电极生产装置产生的固体废物有废硅片原料、 清洗剂残液、 剩余研磨粉和污水处理站产生的污泥。4 、噪声根据 市市监测中心站的监测报告，现有项目厂界昼间噪声值在 52.9-58.6dBA之间， 夜间噪声值在 49.6-53.3dBA之间， 符合 工业企业厂界噪声标准 （ GB12348-90）Ⅲ类标准要求。. . 建设项目所在地自然环境社会环境简况自然环境简况（地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）1. 地理位置位于 省东南部，东临上海，南接浙江，西抱太湖，北依长江。 市区中心地理坐标为北纬 31 19 ，东经 120 37 。坐落于富庶的长江三角洲地区的地理中心，太湖之滨，长江南岸的入海口处，京杭大运河、京沪铁路和多条高速公路贯穿全境。截止到 2005 年底，全市常住人口超过六百万，城区常住人口超过二百万。 是中国首批国家历史文化名城，全国重点风景旅游城市，也是 4 个全国重点环境保护城市之一。位于 省东南部，也是全省最南的城市。东邻上海，濒临东海；西抱太湖，背靠无锡，隔湖遥望常州；南临浙江，与嘉兴接壤，所辖太湖水面紧邻湖州；北枕长江，与南通、泰州隔江相望。市中心西距南京市 219 千米， 东距上海市区 80 千米。 是 省的东南门户， 上海的咽喉，苏中和苏北通往浙江的必经之地，地理位置十分优越。园区地处 城东金鸡湖畔，行政区域面积 288 平方千米，下辖 3 个镇，户籍人口 25 万。其中中新合作区 80 平方公里。作为 东部新城，园区将建设成为 市现代化新城区和 中央商务区。功能区有综合保税区 / 国际科技园 /独墅湖高教区 / 中新生态科技城 / 生物纳米科技园 / 科文中心 / 沙湖动漫城 / 服务外包产业园 / 创意产业园 / 创意泵站 / 阳澄湖旅游度假区。2. 自然物理环境2.1 地形，地貌地处温带，属亚热带季风海洋性气候，四季分明，气候温和，雨量充沛。全市地势低平，平原占总面积的 55，水网密布，土地肥沃，物产丰富。园区位于新华夏系第二沉降带江汉盆地的江陵凹陷，建筑地段内无断裂通过，区域稳定；建筑场地类别为Ⅲ类。地震设防烈度为 6 度，地震动峰值加速度为 0.05g ，地震动反应谱特征周期为 0.35s 。地层由第四系全新统冲洪积层组成，具二元结构，上部为粘性土及粉土，中部为粉细砂层，下部为较厚的卵砾石层。2.2 气候，气象市区多年平均气温 15.7 oC，年平均气温最高为 17 oC，年平均气温最低为14.9 oC。 7 月份最高月平均气温为 30.3 oC，极端最高气温 39.2 oC； 1 月份最低月平均气温为 0.3 oC， 极端最低气温 -9.8 oC。 多年平均相对湿度为 80,无霜期年平均约 240 天，日平均气温在 10oC 以上的积温近 5000 o C，年平均日照时数 1937小时。 市区多年平均降水量在 1100mm左右，降水日数平均每年达 130 天。降水量年际变化较大， 最大年降水量为 1554 mm（ 1957 年） ， 最小年降水量为 574.5 mm. 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . （ 1934 年） 。 降水量年内分配也不均匀， 每年 4～ 9 月， 受暖湿的夏季风的影响，降水多而集中，各月平均降水量为 100～ 160mm， 6 个月的降水量占全年的 70以上，这期间的降水包括初夏的梅雨和夏秋的台风雨； 10 月到次年 3 月，受干冷的冬季风影响，降水很少，各月平均降水量为 40～ 85mm。规划区周围有 、枫桥、西山和瓜泾口四个蒸发站，四站多年平均蒸发量为 1283.8mm。 站多年平均风速为 3.4m/s ，常年主导风向夏季是 SE、冬季是 NW， 6 级以上大风平均每年约 17.7 天，影响本地区的台风每年约 2～ 3 次，风力 8～ 10 级。站 1961 年～ 2001 年共 41 年的 10 分钟最大风速资料频率分析显示， 50 年一遇 10 分钟风速为 19.1m/s 。2.3 水文市是有名的江南水乡，其水系是在太湖平原的成陆、开发过程中，由天然湖泊、河道和人工开挖河道组合而成。全市河道纵横，湖泊众多，约 400 多个，河湖串通，水系成网，境内各级河道多达 2 万多条。本区位于京杭大运河以南，水系发达，京杭大运河由西向东、由北向南绕城而过，西塘河南连太湖、北接大运河，纵卧在本区的西侧；区域内部有大小河道数十条，南北向古塘河、田郎港和碧波河贯穿本区，东西向河道有跃进河、江天港等河道，此外还有南江、宝南河、罗布具等河道，构成了规划区纵横交错的河网。市区现有 站、枫桥站两个水文观测站， 站设在觅渡桥北；枫桥站位于枫江桥上游约 1.1km 处。 站多年平均水位 2.83m（吴淞零 点镇江基面，下同） ，汛期（ 5～ 10 月）多年平均水位 2.94m，历史最高水位 4.37m（ 1954 年 7月 28 日） ， 历史最低水位 1.89m（ 1934年 8 月 27日） 。 枫桥站多年平均水位 2.95m，汛期 （ 5～ 10 月） 多年平均水位 3.11m， 历史最高水位 4.5m（ 1999 年 7 月 1 日） 。市区防汛警戒水位 3.5m。2.4 生物资源的生物资源十分丰富，具有种类多、分布广、南北兼备的特点。全市生物资源 3300 多种，其中农作物品种 1169 个，水生生物 385 种（鱼类 82 种），森林植物 620 余种，药用生物 956 种，害虫天敌 223 种。丰富的生物种类资源为农业结构调整和生态系统的优化配置提供了重要的物质基础。2.5 生态环境本地区主要种植水稻、小麦、油菜、豆类、蔬菜等，主要饲养的家禽家畜有水牛、猪、鸡、鸭、鹅、兔、肉鸽、鹧鸪等。水面养殖有鱼类、虾类、贝类、螃蟹、甲鱼、牛蛙等。项目评价区内主要天然植被较少，植被类型以人工绿地为主。人工林木主要有香樟树、冬青、夹竹桃、爬山虎、杨树、槐树、柏树等。野生动物主要有麻雀、喜鹊等。. . 社会环境简况（社会经济结构、教育、文化、文物保护等）1. 社会经济1. 社会发展现状工业园区地处 城东金鸡湖畔，行政区域面积 288 平方千米，下辖三个镇，户籍人口 25 万。2. 经济发展现状2010 年全市实现地区生产总值 9168.90 亿元，按可比价计算比上年增长13.0， 中国大陆排名第 5 位， 居全国地级市第一。 按户籍人口计算的人均 GDP则达到了 11.72 万元， 已经成为全国人均产出最高的城市之一。 全市实现地方一般预算收入 900.6 亿元，比上年增长 20.9。 。主要工业门类有纺织、机械、电子、食品、化工、轻工、冶金、建材、能源等。3 、交通自古有京杭运河贯穿而过。现有京沪铁路以及 312， 204 等多条国道经过。 有光福机场（军用） ，并与无锡市政府、 省政府合资建设苏南硕放国际机场； 邻近机场繁多，航空条件优越，主要有上海虹桥国际机场、南通兴东机场等。其高速公路密度达到德国水平，是交通部授予的公路交通枢纽城市。高速公路通车里程已有 491 公里，高速公路通车里程数居全省第一，高速公路路网密度已经达到了中等发达国家水平。 2001 年至今，沪宁高速公路、沪苏浙高速公路、苏通大桥南接线工程、锡通高速公路等相继建成通车。期间，沪宁高速公路和苏嘉杭高速公路南段还实施了改扩建，方便驾驶员和市民出行。高速公路路网密度为每百平方公里 5.78 公里，已经达到了发达国家水平。 全市还建成了高速公路枢纽 11 个，互通 50 个，形成了 “ 一纵三横一环二射 ” 的高速公路网，全市 95的乡镇实现了 15 分钟上高速公路。水运方面， 位于长江南岸，建港条件优越，建有张家港港、常熟港、太仓港，均为国家一类开放口岸。4 、区域规划根据 市环保局和南京市环科所编制的 市城市环境保护规划 市城市性质为 省的经济中心、工商业和物流中心城市，也是重要的文化、艺术、教育和交通中心。 总人口 1185.91 万人 , 其中 , 户籍人口 含户口待定人口 637.77万人 , 外来人口 539.14 万人。规划主城区用地主要向东发展，及工业园区发展。. 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题（地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）1 大气环境质量监测及评价1） 监测布点、监测因子在以建设项目所在地为中心的评价范围内，按环境功能区与主导风向相结合的布点原则，共布设 4 个大气监测点扩建项目所在地、厂址北向约 400m 处（距车间）的学校、厂址西向约 300m 处（距车间）的小河流、厂址西北向约 500m处（距车间）的公园，监测点位、监测项目及所属功能区见表 1 表 1 环境空气监测点位及监测项目表序号 点位名称 距建设地点位置 监测项G1 项目所在地 0 SO2、 NO2、 TSP、硫酸雾、氯化氢、氨、甲醛G2 厂址北向学校 400 G3 厂址西向小河 300 G4 厂址西北向公园 500 2 ）监测结果根据新区监测站 2009 年 1 月 17、 19 日、 3 月 20-22 日的监测结果表明 硫酸雾、氨气在各监测点均没超标，满足空气质量标准， NOx、 TSP均有一定程度的超标。NOx 的小时浓度均达标，主要是日均值有超标。 5 天的监测数据显示， TSP 在G3 处的日均值超标，超标率 20，超标倍数为 0.05， NOx 在 G1（项目所在地）处日均值超标，超标率 20，超标倍数为 0.09，其他时间点和监测点均达标。扩建单位及其附近企业在生产过程中无 SO2 的产生，主要来自锅炉废气，而轻质柴油的含硫率低于 0.3％， SO2 超标可能性很小；监测数据上看，其小时浓度达标，且日均浓度的超标率及超标倍数很小，故 SO2 的超标不排除存在监测误差等的偶然性； NOx 部分产生于锅炉废气，部分产生于生产工序中，生产工序中产生的 NOx 通过处理后排放，而此次 NOx 日均值超标最大的原因可能在于处理率不够，因而扩建单位应该提高其去除率，保证 NOx 达标排放；随着新区天然气管网的铺设到位，燃料有天然气代替轻柴油后， SO2 和 NOx 的空气质量现状将会有所好转。TSP 在 G2、 G3、 G4 处超标， 超标率均为 20， 超标倍数分别为 0.03， 0.16，0.30。 TSP主要产生于工艺的烟尘及生产过程中的粉尘，而粉尘是主要的，因而粉尘的排放量情况直接影响着 TSP 是否超标。尽管项目所在地 TSP 未超标，但是不排除扩建单位对周围环境造成了一定的贡献，因此扩建单位应该加强粉尘的污染控制措施，保证 TSP 达标排放。同时随着天然气代替轻柴油，烟尘量减少，将更有利于空气质量现状的好转。2 地表水环境质量监测及评价1） .监测点位建设项目废水由厂内污水处理设施处理达标后通过市政污水管网进园区污水处理厂处理，最终排入吴淞江。根据建设项目废水排放的具体情况，结合评价等级和纳污水域吴淞江的实际，确定在评价河段 吴淞江上项目排污口、排污. . 口上游 500m， 下游 2000m 处各设一个采样断面， 共 3 个监测点位。 水质监测断面布设的位置见表 2 表 2 水质监测断面布设序号 断面编号 断面位置1 W1 废水排污口2 W2 排污口（上游） 500m 3 W3 排污口（下游） 2000m 根据纳污水体和扩建项目所排废水的实际情况，确定吴淞江水质现状监测项目为 PH、 CODcr、 NH3-N 、 SS、 BOD,总磷，并同步测量河宽、河深、平均流速、流量、流向等水文资料。新区环境监测站于 2009 年 10 月 10 日、 11 月 3 日、 12 月 6 日，对各监测断面监测 3 天， 采样频率为上、 下午各一次， 主要监测项目为 PH、 CODcr、 NH3-N 、SS、 BOD,总磷数据来源于 半导体设备技术有限公司增资项目环评报告，报告中数据由 新区监测站于 2009 年 8 月 30 日至 9 月 3 日的监测。2） .监测结果在纳污水体吴淞江上的各监测断面中， SS 的平均浓度超过标准，超标倍数为0.30～ 0.35， NH3-N 的平均浓度超过标准，超标倍数为 1.57～ 2.39；其他监测项目 PH、 CODcr、总磷， BOD 都没有超标现象，满足类水域功能要求。目前水体SS、 NH3-N 超标与吴淞江部分生活污水及企业生产废水直接入水河有关，自新区两污水处理厂的投产运行，吴淞江的水质将会有所提高。3 噪声环境现状监测及评价1）监测点位、监测时间、监测频率、监测因子监测布点的位置为厂区周围厂界处，共设 10 个点位。新区环境监测站于在 2009 年 2 月 10 日、 2 月 13 日，监测两天，每天于昼、夜各监测一次。监测因子为连续等效 A 声级。2.） 监测结果现有项目厂界昼间噪声值在 52.9-58.6dBA之间， 夜间噪声值在 49.6-53.3dBA之间，各监测点的噪声均可以达到相应标准的要求。4 地下水现状监测及分析1. 监测时间、监测地点、监测因子本次地下水现状监测在该厂内共布设 3 个监测点监测因子包括 PH、总硬度、总溶解性固体、硫酸盐、氯化物、硝酸盐、氨氮、氟化物、氰化物、铁、锰、汞、砷、铬、钴、镍、铜、锌、铅、镉、挥发酚、阴离子表面活性剂、高锰酸钾指数、六六六、滴滴涕等 26 项指标。样品采集时间为 2009 年 10 月 22 日， 在项目地块上共安装了 3 个地下水监测井，每个监测井各采集一个地下水样品。2. 监测结果在测定的 26 项地下水指标中，有 18 项指标全部达到了地下水质量标准（ GB/T14848-93）中Ⅰ类水质标准；有 7 项指标达到了Ⅱ类水质标准，其中部分样品达到了Ⅰ类水质标准；仅有总溶解性固体指标在 3 个采样点处达到了Ⅲ类类水质标准，但尚不能凭本次调查断定地下水受到了总溶解性固体的污染。以上数据表明，该公司厂内地下水的水质总体较好，基本没有受到有关物质的污染。. 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 5. 生态环境现状调查（ 1）需特殊保护地区指国家或地方法律法规确定的、县以上人民政府划定的需特殊保护地区， WE 方位 500 米有一座公园（ 2）生态敏感与脆弱区指水土流失重点治理及重点监督区、天然湿地、珍稀动植物栖息地或特殊生境、天然林、热带雨林、红树林、珊瑚礁、鱼虾产卵场、天然渔场、重要湿地等。 W 方位 300 米有一条小河流，（ 3）社会关注区人口密集区、文教区、疗养地、医院等区域以及具有历史、科学、民族、文化意义的保护地。 N 方位 400 米有一学校主要环境保护目标表３ 主要环境保护目标环境 环境保护 对象 居民人数 距该厂距离， m 相对拟建项目方 位环境保护目标大气 学校 1200 400 N 环境空气质量标准 GB3095–1996 中二级标准公园 500 WE 地表水 小河流 300 W 地表水环境质量标准GB3838-2002 中Ⅲ类标准地下水学校 1200 400 N 地下水质量标准GB3838-2002 中Ⅲ类标准公园 500 WE 声学校 1200 400 N 城市区域环境噪声标准GB3096-93 中3 类标准公园 500 WE . . 评价适用标准环境质量标准1、环境空气环境空气执行 环境空气质量标准 （ GB3095-1996） 二级标准， HCl 浓度执行工业企业设计卫生标准（ TJ36-1979）。对农作物执行保护农作物的大气污染物最高允许浓度（ GB9137-88）相应标准。环境空气质量标准2、地表水环境厂区附近吴淞江河流水质执行 地表水环境质量标准 （ GB3838-2002） Ⅳ类标准。地表水环境质量标准序号分类Ⅳ类标准值项目1 水温 ℃人为造成的环境水温变化应限制在周平均最大温升≤1周平均最大温降≤22 pH值 无量纲 6～ 9 3 溶解氧 ≥ 3 4 化学需氧量（ COD） ≤ 30 5 五日生化需氧量（ BOD5） ≤ 6 6 氨氮 NH3-N ≤ 1.5 7 总氮 湖、库．以 N计 ≤ 1.污染物 浓 度 限 值（ mg/Nm3）１小时平均 日平均 年平均TSP 0.30 0.20 NOx 0. １５ 0.1 0.0 ５SS 0.3 mg/m 3 0.2 mg/m 3. 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 8 氟化物（以 F - 计） ≤ 1.5 9 氰化物 ≤ 0.2 10 挥发酚 ≤ 0.01 11 石油类 ≤ 0.5 12 阴离子表面活性剂 ≤ 0.3 13 硫化物 ≤ 0.5 14 粪大肠菌群（个／ L） ≤ 20000 3、地下水地下水执行地下水质量标准（ GB/T14848-1993）Ⅲ类标准。地下水质量标准4、声环境声环境执行城市区域环境噪声标准（ GB3096 93） 3 类标准。声环境质量标准. . 污染物排放标准（ 1） 工业企业厂界噪声标准 （ GB12348-1990）Ⅱ类标准；昼间 60 dB（ A） ； 夜间 50 dB（ A） 。（ 2） 污水综合排放标准 （ GB 8978-1996）三级标准污染物最高允许排放浓度 单位 mg/l pH6～ 9 悬浮物 SS４００ 五日生化需氧量 BOD5 300 氨氮２．０ 元素磷 0.3 污水综合排放标准序号 污染物名称 允许排放浓度（ mg/L）1 pH 69 3 硫化物 2.0 4 CODcr 500 5 BOD5 300 6 SS 400 7 氨氮 25 8 总磷 1.0 （ 3） 大气污染物综合排放标准 （ GB16297－ 1996）中表 2 二级标准；颗粒物无组织排放浓度＜ 1.0mg/m3 染物排放标准一览表总量控制指标根 据 国家污 染 物 达 标 排 放 和 总 量 控 制 的 要 求 ， 建议指标如下CODcr 16.2t/a 烟尘 0.1t/a 。废水量 6000t/a . 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 建设项目工程分析本项目为生产硅片电极的工艺流程通过把生产的零件用研磨剂进行预磨，经过预磨的零件进入机床加工，经加工的零件用一定比例混合的清洗剂进行超声洗涤， 洗涤过后正式研磨， 再次超声清洗， 将处理过后的零件送入检测， 检测的产品进行激光达标， 在进行激光清洗，清洗过后通过一定比例的算混合酸溶液进行酸洗， 再进行超声清洗， 清洗过后通过ＨＦ酸洗，加入１００级纯水于洁净室水清洗，最终经过１００级洁净包装主 要生产工艺流程见图 1S1---硅粉末 N1---噪声 S2---废弃固体 G1 酸雾 W1 酸性废水 （含硫酸 盐酸 硝酸 氢氟酸） S3 废硅片和包装材料 W2 无机杂质金属离子等废液G2 碱雾 S4 颗粒，硅粉粉尘1． 零件预磨通过添加研磨粉或研磨剂对硅片进行初次研磨，将周围边角料磨去2． 机床加工将研磨过的硅片送入机床进行加工，形成统一规格的硅片3． 超声洗涤利用超声波在清洗液和水中对硅片进行清洗4． 正式研磨将经过初次研磨后的硅片进行正式的研磨步骤5． 超声清洗将研磨完成品的硅片清洗干净6． 检测， 激光打标 检测每一个成品硅片的质量， 然后用激光对硅片进行处理，形成硅片电极7． 超声清洗，酸洗对硅片电极进行的多吃清洗，处理步骤8． 洁净室水清洗，包装在无尘条件下，进行最终清洗步骤，最后包装成完整品的硅片电极清洗剂、水零件预磨100 级纯水机床加工 超声洗涤 正式研磨100 级洁净包装激光打标检测洁净室水清洗超声清洗清洗剂、水4-1-6 酸/6-1-1 酸酸洗超声清洗清洗剂、水HF 酸洗研磨粉 /剂N1 ， S1 G1 W2 S4 W2 G1 S4 N1, S2 N1, S1 W1, G1 W2, S4 W2, S4 G1 W1 S3 W1 G2 超声清洗清洗剂、水图 1 生产工艺流程图. . 化工项目应列出主要化学反应方程式3SI HNO3 3SIO2 2H2O NO气体）SIO2 6HF H2SIF6 2H2O 生产过程中用到的纯水的制备工艺工艺中取自来水为原水样， 用活性炭进行吸附处理得到的水， 分离不达标的水其余部分经电离处理得到的水样， 产生的不达标的水再进行循环处理， 其余部分再利用活性炭吸附，同样产生的不达标的水循环处理分离得到的即为纯水。纯水制备见图 2水平衡 污水处理工程为硅藻土吸附调节 PH接市政污水管网主要污染工序主要污染工序⑴主要废气污染物为对零件预磨、机床加工以及正式研磨过程中产生的粉尘；两次酸洗过程中挥发性的酸挥发产生的废气对空气的污染。⑵主要噪声为对零件预磨、机床加工以及正式研磨两过程中产生的噪声；⑶主要废水污染源零件几次超声清洗，两次酸洗，洁净室水清洗自来水 活性炭吸附 电离 活性炭吸附 纯水不达标水不达标水不达标水图 2 纯水制备流程图进水量工业用水生活用水研磨用水清洗用水100 级净水处理污水排放6000 5500 500 2000 3500 2300 450 2750 3000 . 扩建年产硅片电极 15000片生产线建设项目环境影响报告表 . 制水过程中不达标水的此类污水；⑷主要固体废物为零件预磨、机床加工以及正式研磨过程中产生的固体废物、检测包装过程中产生的固体废弃物。主要污染物及污染源源强分析1 生产过程中废气污染源源强分析项目产生的废气主要来自预磨、机床加工以及正式研磨过程中产生的粉尘；两次酸洗过程中挥发性的酸挥发产生的废气对空气的污染。本评价建议在加工过程中产生的粉尘通过排风口由引风机引入旋风除尘和布袋除尘室，对其进行处理，可以去除尘粒９９ 以上，再进行排放。挥发性的酸性气体可搜集通过加试剂中和反应去除。2 生产过程中噪声污染源源强分析项目主要噪声源为对零件预磨、 机床加工以及正式研磨两过程中产生的噪声的设备。大部分的工序生产设备为低噪声设备，机器设备运行时产生的噪声，源强一般为 70～ 95dB（ A） 。3 生产过程中废水污染源源强分析工程生产用水取自自来水， 生产产生废水经硅藻土处理并调节ＰＨ后接市政污水管网排放。 自来水它主要通过水厂的取水泵站汲取江河湖泊及地下水， 地表水。并经过沉淀、消毒、过滤等工艺流程，产生的废水同生活污水、部分工业废水一起经市政污水管道排放， 废水中含大量可生化降解的有机物， 可生化性ＢＯＤ／ＣＯＤ达到０．５～０．６大部分用于厂区绿化或就地泼洒，极少量污水外排到市政污水管道。需进行处理使水质指标达到国家综合排放一级标准4 生产过程中固废污染源源强分析项目产生固体废弃物主要有零件预磨、 机床加工以及正式研磨过程中产生的固体废物、检测包装过程中产生的固体废弃物。固体废物进行搜集，可用于循环利用，部分废物续集中处理，可交由环卫部门清运处理以减少污染。. . 项目主要污染物产生及预计排放情况种类 排放源（编号） 污 染 物 名称产生浓度mg/m3产 生 量t/a 排放浓度mg/m3排放速率kg/h 排 放量 t/a 排放去向大气污染物生产过程产生污染Hcl 2.72 3.63 2.0 大气Hf 3.29 4.75 2.4 HNO3 0.68 1.17 1.7 粉尘 1.5 0.15 1.0 4.2 0.15 酸雾 21.8 1.728kg/a 8.1 0.027 0.648（ kg/a）污染物名称废水总量t/a 产生浓度mg/L 产生量kg/a 排放浓度mg/L 排放量 kg/a 排放去向生活废水CODcr SS 氨氮总磷129.024 35 4.5 35 4.5 市政管网处理200 25.8 200 25.8 20 2.6 20 2.6 5 0.6 5 0.6 清洗废水CODcr 2490.88 35 87.2 35 87.2 污水厂处理SS 200 498.2 200 498.2 氨氮 20 49.8 20 49.8 总磷 5 12.5 5 12.5 车间场地冲洗用水CODcr 50.176 35 1.8 35 1.8 市政管网处理SS 200 10.0 200 10.0 氨氮 20 1.0 20 1.0 水污染物 总磷 5 0.25 5 0.25 酸洗废水 PH 33.6 7 市政官网处理CODcr 600 940.8 658.56 282.24 BOD 5 400 627.2 211.84 188.16 SS 500 784 405.92 94.08