太阳能多晶硅片的检测

天威新能源 成都 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 1 页 共 5 页1 目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。2 范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3 设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、 PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4 内容4.1 检验方式4.1.1 外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2 电学及其他性能抽检，每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、 、厚度、 TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。4.2 检验步骤a 每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b 在抽检的 200 片当中如果有 30 及 30 片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则对该硅块所有的硅片用 Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c 在抽检的 200 片当中如果只有 30 片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的 200 片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如如某一硅块理论切片数为 535 片，抽检了 200 片，当中有 29 片不满足 4.3 中相关要求。则将 29 片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的 171（ 200-29 ）片连同前面的 335 片（ 535-200 ）进行外观上的全检；编制 校对 审核 标准化 批准发送部门份 数天威新能源 成都 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 2 页 共 5 页d 依据 4.3 中相关要求对硅片进行分类。4.3 技术要求按质量要求将硅片分为 A级硅片、 B级硅片、 C级硅片、 D级硅片四级， 如下表 1。 其中将 A级硅片按电阻率分为 A1（ 0.5 ～3Ω .cm）， A2（ 3～ 6Ω .cm） 2个类别， B级硅片按部分性能不满足 A级硅片要求分为 B1， B2， B3， B4， B5， ， B9共 9种类别； C级硅片指由清洗、 检测和包装过程中产生的碎片， 经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片 （如 125mm 125mm） ，其他检验参数符合 A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按 A级硅片生产，允许按用户要求提供 B级硅片或是 C级硅片。表 1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号 检验项目A B C D 检测方法 检验方式A1 A2 B1、 B2、 B3, B9 1 导电类型 P P 可划片 （不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125125）硅片后， 其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、 C级要求的硅片均归为 D级硅片分选设备抽检2 隐裂、针孔 无隐裂、无针孔 无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3 崩边长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；长度≤ 1 mm， 深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；B1 1mm＜崩边长度≤5mm， 1mm＜深度≤ 2mm， 1＜崩边总数≤ 3 目测 全检4 TTV ≤ 30 μ m ≤ 30 μ m B2 30 μ m＜ TTV≤ 50μm；硅片分选设备抽检5 厚度 200 20 μ m 200 20 μ m B3 厚度偏差超过 20μ m但小于 40μ m 硅片分选设备抽检6 尺寸 156 0.5 mm 156 0.5 mm B4 硅片尺寸偏差超过 0.5mm但小于 1.0mm 硅片分选设备抽检7 倒角 1 0.5 mm、 4510o1 0.5 mm、 45 10o B5 倒角尺寸偏差超过 0.5mm但小于 0.8mm 硅片分选设备抽检8 线痕 深度≤ 8 μ m 深度≤ 15 μ m B6 15 μ m＜深度≤ 30μ m 目测、 必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9 电阻率0.5-3 Ω cm； 3-6Ω cm 0.5-3 Ω cm； 3-6 Ω cm B7 电阻率＜ 0.5 Ω .cm 硅片分选设备抽检10 少子寿命 ≥ 2μ s ≥ 2μ s B8 0.5 μ s≤少子寿命＜ 2μ s 少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检天威新能源 成都 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 3 页 共 5 页续表 1 说明 1 A 级硅片为优等品， A、 B 级硅片均为合格硅片 ,C、 D级硅片为不合格硅片；2 B 级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用， C级、 D级硅片按公司不合格品控制程序进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据 GB50034-92 工业企业照明设计标准中第 3.2.1 条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸 0.6d1.0, 视觉作业分类等级为 IV 乙，亮度对比为大，照度大小为 200LUX（即需 40W的日光灯源，工作面距离灯源 50-70cm）。4）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。4.4 标志、包装4.4.1 标志在包装盒至少印有如下产品标志a 企业名称；b 产品型号或标记；c 制造日期；d 质量认证书；序号检验项目A B C D 检测方法检验方式A1 A2 11 表面质量状况硅片表面及侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑， 无明显沾污 （表面沾污总面积小于3mm2， 每一百片单边侧面沾污总面积小于 20mm2）（判断时参照沾污样本片进行判定），无氧化， 无穿孔， 无裂纹， 无划伤；B9 硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑； 油点或其他赃物不得有 3 处， 每处沾污或其他赃物面积≤ 1mm2可划片 （不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125125）硅片后， 其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足A、 B、C级要求的硅片均归为D级目测全检12 弯曲度≤ 80 μ m ≤ 80 μ m ≤ 80 μ m 塞尺抽检13 氧碳含量氧含量≤8x1017atoms/cm 3 ；碳含量≤ 6.0x10 17atoms/cm 3氧含量≤ 8x1017 atoms/cm 3 ；碳含量≤ 6.0x10 17 atoms/cm3氧含量≤ 8x1017atoms/cm 3 ； 碳含量≤ 6.0x10 17atoms/cm 3氧碳含量测试仪客户要求时才抽检天威新能源 成都 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 4 页 共 5 页e 硅锭编号；f 氧、碳含量；g 少子寿命；h 电阻率。4.4.2 内包装硅片采用 EPS包装盒密封包装。包装盒上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶要求美观平整。4.4.3 外包装外包装箱应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样，箱内有产品清单。外包装箱上贴有标签，标签内容包括产品名称、型号、数量、日期以及包装编号等。外包装箱上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶成十字形，并要求美观平整。5 记录硅片生产流程卡天威新能源 成都 硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.015-2009 版 次 A 硅片检验规程 生效日期 2009 年 02 月 10 日第 5 页 共 5 页6 更改记录版次 条款 更改内容说明 更改日期 更改人