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1nms高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用(20180724163643).pdf

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1nms高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用(20180724163643).pdf

第 “ 卷 第 期 年 月半 导 体 学 报 “ “ “ RRW RSSQ T PQ i EFJ K Y 3 i EF6h OF6h 4 9 F7 81 F FN6J6 L NJI N6 J ENJ LN7 I A9C L 6977FJ C NAF; EDNF * NJNF W WT T“ T NJ ENJ99 张晓丹 赵颖 高艳涛 等 8太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究 8物理学报 W WT T“ T h FJM h A9Oi h FJK 9 F7 8 P Q“ h F I F I 6 6G F FNI F/ h 6ENI N2 9 F7 8 /E NKE9 LLN[N9 JD ENJ LN7 I N7N6 J 67F977 FJ C I 6 CA79 8* 67F6JLN7 I FJ C 67F977C9 B6N9C D ; 5 3F J C 5 * RTRRT i EFJK Y 3 i EF6h OF6h 4 9 F7 8 LL9 6L6 BNI N] FN6J6L C9B6 NN6J BF96 LI N6 J 67F97786A I N6JF J C NFBB7NFN6J NJ 67F97786 AA[A I* N9J 9 FJ C4 9EJ 676KD W W P“ “ NJ ENJ99 高艳涛 张晓丹 赵颖 等 8本征微 晶 硅 材 料 及 其 在 电 池 中 的 应 用 8真空科学与技术学报 W W P“ “RQ i EFJ K Y 3 i EF6h i EA1 9 F7 8/ ACD 6 L. F I FJ FJC 6B[NF7 9 I NN6J B96 BD 6J I N6JL N7 I C9B6N9 C D 5 5 38 / F; EDNF* NJNF W WTTTW 张晓丹 赵颖 朱 锋 等 85 5 3 低 温 制 备 微 晶 硅薄膜的喇曼散 射 光 谱 和 光 发 射 谱 研 究 8 物 理 学 报 W WTTTWR i EFJ K Y 3 i EF6 h i EA1 9 F7 8/ 6 I NJ F696 L[ *N 5 38 / BB7* AN W TW RR“ i EFJ K Y 3 i EF6h OF6h 4 9 F7 81 F FN6 J6 LC 9HN9[_AF7ND [ *N 5 * W “ RS 2 n779EM * B6 J ENJ LN7 I 67F9778* 67F9 6 L L[\696LI N6 J 67F9778 6J[ EAJO9J K YNJ EAF FJ CY N6 JK * EF6] E9J * “ * T9“ DI 23“* -435 L 94-X 427 GH435 - /L 39- 2 . L4- 6 J ENJ LN7I V9F9C D H9D B7FI F[ 9J EFJ9C E9 I NF7 HF[B66J9J6J 9JAF7 BFJ 9 6J 7AC9C EFV NEF ENKEC 9B6NN6 J 9[ _AF7ND I N6J N6FNJ9C 8/ F 6J 67F977V NEQ P e 6J H9N9JDN6FNJ9C8 8 . 95 H9DB7FI F 9J EFJ9C E9I NF7 HFB66J 67F977 ENKEC 9B6[NN6J ABB6. 99 F91 6AJCFN6J6 L ENJ F 6 8QWQP FJ C E9 FAN9J 91 6 AJ CFN6 J6 L4 NFJNJ 6 8 Wh 1 2 RQU 6J . 99NH9CQ* 9 B9 I 99NH9CS, 6 9

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