4.SolarPaq 减反射涂覆（PECVD）专用炉温跟踪仪系统产品手册

追求最佳 Datapaq null SolarPaq减反射涂覆专用系统被设计为光伏电池片通过等离子涂覆 工艺过程时监测产品温度测绘曲线。通过与各主要PECVD设备供应商合作， 共同设计的Solarpaq减反射涂覆专用系统在穿过PECVD设备时，即使激活了 等离子（plasma），也可以准确测量被涂覆电池片的温度。这种特性 以及独一无二的可直接放置在电池片载体支架而无需改装的设计，使 得进行温度曲线测绘时不会打断正常生产。 监测氮化硅涂覆（PECVD）工艺过程是优化该工艺过程、从而最终 提高电池片效率的关键。由于PECVD设备的特殊性，该过程在目前 非常难以测量而且测量成本高昂。Datapaq系统可以穿越整个工艺过 程来测量电池片表面的温度，提供工艺过程中每一时刻所关心的测 量点上的温度数据。 完整的解决方案 专门设计的记录器及其热保护使其可以非常容易地被置于电池片载体支架内。该 设计使得该系统会占据156 mm 6.1 in大小的位置，所以无需修改载体支架。然 后该系统穿过整个工艺过程，包括等离子场激活的工艺过程，工艺结束时，即可 下载并分析温度曲线信息。该系统的特别设计使其可以抵御PECVD设备舱内恶 劣的高温和电磁干扰环境，并且可以长期重复用于PECVD工艺的设置和定期监 测。 优势 能直接放置于常规电池片的位置 - 无需对昂贵的电池片载体支架进行改装 在等离子受到激发时也能准确测量并记录电池片的温度，在生产过程中准确报 告工艺过程的状况 提供准确、可重复的结果，优化工艺过程 节省初始设置及工艺过程调整的时间 SOLAR INSIGHTnull软件 该全新系统经特别设计，专门用于光伏（PV）太阳能行业，含有许 多光伏应用专门的工艺过程分析和显示功能。软件向导指导用户一 步步快速获取所需结果的数据和分析，确保经验丰富的用户和新手 都可以在最短的时间内获得最高收益。 SolarPaq减反射涂覆专用系统 .减反射涂覆（PECVD）工艺过程温度曲线测绘 上海办事处 上海市长宁区临虹路280弄 6号楼3楼 200335 电话021-61286235 传真021-61286222 咨询电话400 810 3435 咨询邮箱salesdatapaq.com.cn 售后邮箱servicedatapaq.com.cn 北京办事处 北京市建国门外大街22号赛特大厦 1901室 100004 电话010-64384691 传真010-65123437 深圳办事处 深圳市福田区南园路68号上步大厦 A，K，L室 518031 电话0755-26523201 传真0755-26523280 www.datapaq.com.cn null 2011 Datapaq 1222 Rev B 6/2011 Datapaq 和Datapaq 图标均为 Datapaq 的注 册商标。技术指标如有更改， 恕不另行通知。 技术指标 The Worldwide Leader in Temperature Profiling 隔热箱 TB7400 尺寸 H xW x L 18 mm x 149 mm x 148 mm 0.71 in x 5.87 in x 5.83 in 重量 440 g 0.97 lb 材料 不锈钢 外壳，含 微孔 陶瓷 绝缘 固定的法兰盘 10 mm/0.39 in 宽 使用随隔热箱提供的间隔块，可将高度调整为高于和低于载体机架以适应正在被测绘的工艺过 程舱室。 数据记录器 Datapaq Q18记录器具有坚固、可靠且准确的数据采集电路、清晰的状态指示以及智能电池管理 系统。 型号 DQ1863 通道数量 6 采样 间隔 0.05 s 至 10 min 准确度 0.5nullC 0.9nullF 分辨率 0.1nullC 0.2nullF 最高内部 工作 温度 85nullC 185nullF 温度 范围 -200nullC 至 1370 nullC -328nullF 至 2498 nullF 内存 55,000读数/通道 6通道激活 数据 采集 开始 开始/停止 按钮， 时间或温度 触发 电池 NiMH 可充电电池 热点偶 K型 推荐的热电偶 PA1570 300 mm 1 ft 长 PA1571 600 mm 2 ft 长 PA1572 1000 mm 3.25 ft 长 极度 精细， 矿物结缘， K 型热电偶， 直径 0.5 mm 0.02 in。这些热电偶均为BSEN 60584.2 1 类产品。