4.1 石墨材料在铸锭多晶硅制造中的应用4.1.1 铸锭多晶硅2007 年在全球半导体产业低速增长的情况下,中国的半导体产业持续发展,比 2006 年增长了 20.8,随着各国对可再生能源的重视,以及太阳能电池转换效率不断提高,产品成本不断下降,太阳能电池产量快速增长。自 ...
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硅晶片的超精密加工摘要 归纳总结了硅晶片的加工原理、加工方法,分析加工硅晶片的技术要求其精密制造过程,并通过对国外技术装备的分析,指出硅晶片高效精密加工技术的发展趋势。关键词 硅晶片 超精密加工 磨削 抛光前言硅是具有金刚石晶体结构,原子以共价键结合...
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加工流程单晶生长→切断→外径滚磨→平边或 V 型槽处理→切片倒角→研磨 腐蚀 -- 抛光→清洗→包装切断目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。切断的设备内园切割机或...
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第四章 硅的体单晶生长和硅片加工193 第四章 硅的体单晶生长和硅片加工4. 1 概述如果认为硅的提纯是典型的化工过程的话, 那么从高纯度的多晶硅生长单晶硅则是半导体器件制造的第一步。虽然尝试过各种技术来将多晶硅转变为单晶硅,最后只有两种技术被应用于单晶硅的...
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光纤激光器在硅片加工方面的应用通常来说,硅晶圆是由金刚石锯切割好的,偶而也有用划线器和剥裂加工的,但划线器和剥裂加工具有一定的局限性,它们只能平直划线,且容易缺边。随着激光器技术的不断完善发展,越来越多的硅片加工采用激光技术,激光器在硅晶圆加工领...
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