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硅片生产培训资料Page 1 of 24 培训目的1、 确定硅片生产过程整个目标;2、 为工艺过程确定一典型流程;3、 描述每个工艺步骤的目的;4、 在硅片生产过程中,硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清洁的抛光片结束,以能够在绝好的环...
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关键词硅片 线切割 钢线1、引言硅片多线切割技术是目前世界上先进的硅片切割加工方法之一,它是与传统的切割方式,如刀锯、砂轮片等不同的, 也与先进比较先进的切割技术,如 激光切割 或是内圆切割有差别。总体来讲,它是用一根高速传动的钢丝线来带动附着在其上的...
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毕业设计(论文)题 目 硅片清洗原理与改进方法所 属 系 太阳能科学与工程系专 业 光伏材料加工与应用技术I 硅片清洗原理与改进方法摘 要随着大规模集成电路的发展 , 集成度的不断提高 , 线宽的不断减小 , 对硅片的质量要求也越来越高 , 特别是对硅抛光片的表面质量...
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输入 结果硅片面积计算边长 125 mm对角线 150 mma 62.5L 75b 41.45781一角弧长 29.95689缺角面积 191.7535硅片面积 148.5799 平方厘米La2b
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收稿日期 1999- 07- 12硅片清洗原理与方法综述刘传军 赵 权 刘春香 杨洪星电子四十六所 , 天津 300220摘要 对硅片清洗的基本理论 、 常用工艺方法和技术进行了详细的论述 , 同时对一些常用的清洗方案进行了浅析 , 并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述 。关...
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序号 国内主流企业1 保利协鑫2 江西赛维 LDK太阳能高科技有限公司3 浙江昱辉阳光能源有限公司4 英利绿色能源控股有限公司5 常州天合光能有限公司6 河北晶龙集团7 新疆新能源股份有限公司8 大全新能源9 天威新能源10 晶科能源11 通威集团12 阿特斯13 江苏环太集团14 ...
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硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较参数 酸腐蚀工艺 碱腐蚀工艺腐蚀特性 各向同性 各向异性腐蚀反应的热量 放热 吸热表面平坦度 ( STIR\TIR\TTV )需要依靠晶片的旋转、 特制的夹具、 通气体充分搅拌腐蚀液等特殊机构及工艺手段来改善其表面平坦度不需要特殊机构便可达到一...
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硅片隐裂痕的粗浅分析---Choo 2008-05-07 由共价键结合而成的硅是典型的脆性材料,其主解理面为{ 111}面,而 S125 和 S156硅片大多为{ 100}晶面族,如果硅片在工艺过程中积累了过多的解理裂痕,则裂痕会产生扩展并脆断,所以就有很多沿解理面或非解理面的穿晶断...
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集成电路制造用 300毫米硅片技术研发与产业化项目岩 土 工 程 勘 察 报 告 书勘察阶段 详细勘察工程编号 2015-S-02 信 息 产 业 部 电 子 综 合 勘 察 研 究 院二 ○ 一 五 年 五 月集成电路制造用 300毫米硅片技术研发与产业化项目岩 土 工 程 勘 察 报 告 书勘察
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硅片脏污清洗分析报告一、硅片表面污染硅片表面的最外层即为吸附层,是氧化层与环境气氛的界面,吸附一些污染杂质,这些沾污可以分为分子、离子、原子、或者分为有机杂质、金属和粒子,如下图 1 所示。图 1 硅片表面污染示意图二、清洗工艺程序吸附在硅片表面上的杂...
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顺大半导体发展有限公司太阳能用硅单晶片生产技术目 录一、 硅片生产工艺中使用的主要原辅材料1、拉制单晶用的原辅材料,设备和部件2、供硅片生产用的原辅材料,设备和部件二、 硅片生产工艺技术1、硅单晶生产部( 1) 、腐蚀清洗工序生产工艺技术对处理后原材料质量...
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论金刚线切割硅片技术的前景如今又一个崭新的金刚线切片技术崛起于光伏硅片切割行业。树脂金刚线切割硅片的技术与切割钢丝切割硅片技术相比, 最主要的优势体现在这四个方面( 1)树脂金刚线切割过程造成的损伤层在 4-7um,电镀金刚线是 8-10 um,砂浆是 11-15um,有...