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  • (100)、(110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究53

    (100)、(110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究 (100)、(110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究 (53页)

    武汉理工大学硕士学位论文( 100)、( 110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究姓名李志伟申请学位级别硕士专业材料物理与化学指导教师周建20080401

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  • 硅片的湿法刻蚀的各向异性加工出V形槽条纹3

    硅片的湿法刻蚀的各向异性加工出V形槽条纹 硅片的湿法刻蚀的各向异性加工出V形槽条纹 (3页)

    利用湿法刻蚀在硅片加工出 V 形槽条纹1 刻蚀原理硅的湿法刻蚀是指利用含有腐蚀剂的溶液对硅进行腐蚀 , 可分为各向同性腐蚀技术和各向异性腐蚀技术。各向同性腐蚀是指各个晶向上的腐蚀速率相同 , 衬底和表面取向的不同对腐蚀速率的影响不大。 各向异性腐蚀是指硅的不...

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