硅材料加工工艺分析及相关化学品的研究作者 张楷亮 , 宋志棠 , 刘玉岭作者单位 张楷亮 ,宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,半导体功能薄膜工程技术研究中心 , 刘玉岭 河北工业大学微电子技术与材料研究所 天津 本文链接 http//d.g.wanfangdata.com.cn...
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太阳能电池片生产工艺常用化学品及其应用一般来说, 半导体工艺是将原始半导体材料转变为有用的器件的一个过程, 太阳能电池工艺就是其中的一种,这些工艺都要使用化学药品。1. 常用化学药品太阳能电池工艺常用化学药品有乙醇( C2H 5OH) 、氢氧化钠( NaOH) 、盐...
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1、一次清洗工艺1.1 去除硅片损伤层 氢氧化钠( NaOH)Si 2 NaOH H2O Na2SiO3 2 H21.2 制绒面 异丙醇( IPA)、硅酸钠( Na2SiO3)Si 2 NaOH H2O Na2SiO3 2 H2 ↑由于在制绒面的过程中,产生氢气得很容易附着在硅片表面
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