全自动硅片装片机

无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 1 页GZP-2A 全自动硅片装片机使用说明书无锡双川科技有限公司无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 2 页1. 概述1． 1 主要用途和适用范围将方形硅片放入 25 片篮具内以供下一工序使用。1． 2 产品特点ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料为升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。本产品型号组成 “ ZPJ” 代表装片机， 2X 代表 2 个工位 2 个吸盘。执行标准 Q/AH318-1998产品型号的命名 。1． 3 品种全自动装片机， ZPJ-2X。1． 4 使用环境条件1）环境温度 1535摄氏度。2）相对湿度 60，无凝露。3）周围环境无腐蚀性气体。1． 5 工作条件产品工作电源为单相三线制电源，并有压缩空气源。1． 6 对环境及能源的影响本产品对环境及能源无污染。1． 7 本产品所执行的标准编号GB191-1990 包装储运图示标志GB4793.1-1995 测量控制和实验室用电气设备的安全要求无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 3 页Q/AH 117-2002 产品标牌Q/AH 318-1998 产品型号的命名2．结构特征及工艺流程2． 1 结构特征ZPJ-2X 全自动硅片装片机主要由设备本体、篮具升降系统、上料升降系统、上料位、皮带传送机构、控制面板、硅片分取系统构成。1） 设备本体结构稳定，机身喷塑处理。2） 篮具升降系统利用步进系统进行精确定位3） 上料升降系统利用步进系统进行精确定位4） 上料位可进行适当调节5） 皮带传送机构传送带选取对硅片无损伤和无污染的材料，采用导向机构，确保硅片顺利准确的进入篮具。6） 控制面板采用 26 万色真彩显控触摸屏7） 硅片分取系统 气嘴分别位于硅片两侧， 在吸盘真空开始后略微下降上料台， 提供足够空间让粘连硅片分开。 吸头采用的是 PEEK 材质，不会损伤硅片表面。无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 4 页2． 2 工艺流程工艺流程示意图（图１）图 1 1将硅片放置与上料位；2步进电机带动硅片向上移动到指定位置；3）凸轮电机执行器带动吸盘运动到吸片位置；4）吹气分离装置开始工作；5）吸盘吸取硅片，并轮流把硅片放置于两侧的传送带上；6）传送带开始工作，把硅片送入到篮具中。3．主要技术参数及功能3． 1 外型尺寸约 930（ L） x 830W x 1550H mm 3． 2 装片效率 20002400片 /小时3． 3 碎片率 1/1000 3． 4 工位数双工位3． 5 设备兼容 156x156mm、 125x125mm 两种规格的硅片无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 5 页4．功率、重量4． 1 功率 500W 4． 2 重量约 200Kg 5. 运输和安装5． 1 安装5． 1． 1 安装调试前，应先认真检查设备及其附件，检查是否有破坏或遗漏的部分。5． 1． 2 设备必须水平放置，安装时通过调整地脚螺栓，使设备达到水平。5． 1． 3 连接电源、气源等。5． 1． 4 按照要求对设备进行良好接地。6．使用、操作6． 1 使用前的准备与检查6． 1． 1 检查设备妥善安装，并将机器调至水平位置。6． 1． 2 将所有电源开关及电器开关置于“关”位置，检查电源是否合乎要求，机壳接地是否可靠。6． 1． 3 检查供应的氮气、压缩空气压力是否满足要求。6． 2 设备面板上由一个启动按钮（绿色） 、一个停止按钮（红色） 、一个急停按钮（红色蘑菇按钮）和触摸屏构成。6． 2． 1 左边有一个报警蜂鸣器、台面上有左右两个篮具复位按钮。无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 6 页6． 2． 2 确认设备正常后，打开电源开关，松开急停按钮显示开始画面如下 （图 2） 如使用完毕可以按下停止按钮 （红色） ，紧急情况下可以按下急停蘑菇按钮，再关闭电源开关。GZP-2A全自动硅片装片无锡双川科技有限公司联系电话 0510-810271581395157839988延时几秒后进入系统手动画面（图 3） 。6． 2． 3 手动状态“手动状态”注释表 1 无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 7 页旋转停止 /启动 按下凸轮旋转开始 /再按下凸轮旋转停止旋转吹气 按下分片吹气 /再按下停止吹气片盒上升 按下片盒步进上行，松开停止片盒下降 按下片盒步进下行，松开停止左带轮启动 /停止 按下左带轮电机启动 /再按下左带轮电机停止右带轮启动 /停止 按下右带轮电机启动 /再按下右带轮电机停止调试红灯开 /关 按下警示灯红灯亮 /再按下红灯暗调试绿灯开 /关 按下警示灯绿灯亮 /再按下绿灯暗吹气 按下硅片分离吹气开 /再按下硅片分离吹气关吸头 A 吸 /放 按下吸头 A 吸气 /再按下吹气吸头 B 吸 /放 按下吸头 B 吸气 /再按下吹气左篮上升 按下左篮具上升一格左篮复位 按下左篮具下降到最底层右篮上升 按下右篮具上升一格右篮复位 按下右左篮具下降到最底层报警画面 点击进入历史报警画面自动画面 点击进入自动运行画面参数画面 点击进入参数设置画面无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 8 页6． 2． 4 自动状态“自动状态”画面如下（图 4）“自动状态”注释表 2 左篮复位 点击此按钮左篮具下降到最底层右篮复位 点击此按钮右篮具下降到最底层自动复位 点击此按钮凸轮旋转到准备位计时清零 点击清除左侧显示框时间换片画面 点击进入更换片盒画面调整画面 点击进入手动画面6． 2． 5 换片状态“换片状态”画面如下（图 5）无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 9 页“换片状态”注释表 3 旋至中位 点击此按钮凸轮转动 45 度，可以方便上料片盒到底 点击此按钮片盒下降到最底层片盒上升 点击此按钮片盒上升片盒下降 点击此按钮片盒下降自动画面 点击进入自动画面6． 2． 6 参数设置“参数设置”画面如下（图 6）无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 10 页“参数设置”注释表 4 累积工作时间 显示当前累积的工作时间片盒升降速度 片盒上升下降的速度设置片盒下降步数 片盒自动分片时要求下降的距离设置花篮升降速度 左右篮具上升下降的速度设置花篮上升距离 左右篮具上升一格的距离设置吹气延时 硅片吹离吹气时间设置分片延时 分片吹气时间设置空抓报警次数 吸头没抓住硅片空运行报警的次数设置进仓延时上升 硅片进入篮具后延时上升时间设置带轮停止延时 停止运行时带轮延时停止时间设置左篮清零 左篮具计数清零右篮清零 右篮具计数清零返回调整 返回调整画面7．维护保养7． 1 设备应放置在洁净干燥的工作环境下， 环境温度 1535摄氏度。7． 2 保证设备可靠接地7． 3 定期检查及清洁控制电器元件，以免因此造成的漏电及局部短路，接触不良。7． 4 定期检查控制面板上的各操作按钮，指示灯，如果出现故障，要及时更换。无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 11 页8．安全操作规范8． 1 操作人员必须经过我方培训并熟悉操作规程才可以使用本设备。8． 2 本设备应该在通风、安全防范措施及设备齐备的环境下工作。8． 3 设备内部或周围严禁接触和堆放易燃易爆等危险品。8． 4 工作时一定要有专人看守，工作结束后，操作人员必须保证关闭设备电源后方可离开。8． 5 日常维护、检修，需由相关项目专业人员进行不带电作业。8． 6 压缩空气洁净度必须满足要求。9．故障处理下表列出设备使用过程可能出现的故障和处理方法。表 5 故障处理注解故障类型 诠释及处理电源失灵 1、 检查是否总电源线接线错误2、 空气开关是否完好3、 检查是否短路、漏电现象步进电机无法运行 1． 电机是否卡死2． 检查驱动器是否报警3． 断电重起传送带不动 1． 交流电机是否完好2． 传送带是否卡死吹气失败 1． 检查气源是否正常2． 检查气孔是否堵塞吹气时有污染物吹出 1、检查压缩气是否洁净，清理过滤减压阀10．故障处理10． 1 运输为了防止产品在搬运和运输过程中受损或降低使用性能，对搬运和运输过程做出如下规定无锡双川科技有限公司 全自动硅片装片机使用说明书第 12 页1） 用铲车或人工搬运时，应轻拿轻放，防止磕碰划伤表面；2） 对设备进行防震、防潮及防污保护；3） 长途运输中应具有运输活动记录。10． 2 贮存贮存的设备应定期检查，一般半年检查一次，一年全面检查一次，查出问题立即清除解决。无锡双川科技有限公司联系电话 13951578399 日期 2012-6-29