硅片等级分类及标准(20180720150042)

硅片等级分类及标准New Roman “ 一、优等品1硅片表面光滑洁净。2 TV 220 20μ m。3几何尺寸边长 125 0.5mm；对角 150 0.5mm、 148 0.5mm、 165 0.5mm；边长 103 0.5mm、对角 135 0.5mm；边长 150 0.5mm 、 156 0.5mm、对角 203 0.5mm 、 200 0.5mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤ 1mm。垂直度任意两边的夹角 90 0.3。二、合格品一级品1表面有少许污渍、轻微线痕。2 220 20μ m ≤ TV ≤ 220 30μ m。3几何尺寸边长 125 0.5mm；对角 150 0.5mm、 148 0.5mm、 165 0.5mm；边长 103 0.5mm、对角 135 0.5mm；边长 150 0.5mm 、 156 0.5mm、对角 203 0.5mm 、 200 0.5mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤ 1.2mm。垂直度任意两边的夹角 90 0.5。二级品1表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。2 220 30μ m ≤ TV ≤ 220 40μ m。3凹痕硅片表面凹痕之和≤ 30μ m。4崩边范围崩边口不是三角形状，崩边口长度≤ 1mm，深度≤ 0.5mm 5几何尺寸边长 125 0.52mm；对角 150 0.52mm、 148 0.52mm、 165 0.52mm；边长 103 0.52mm、对角 135 0.52mm；边长 150 0.52mm 、 156 0.52mm、对角 203 0.52mm、 200 0.52mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤ 1.5mm。垂直度任意两边的夹角 90 0.8。三级品1表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。2 220 40μ m ≤ TV ≤ 220 60μ m。3硅落整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片 TV ＞ 220 60μ m。崩边片有缺损但可以改 Φ 103 的硅片。气孔片硅片中间有穿孔 。外形片切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度） 任意两个弧的弦长之差 1.5mm。菱形片（垂直度） 任意两边的夹角 90 0.8。凹痕片硅片两面凹痕之和＞ 30μ m。脏 片硅片表面有严重污渍且发黄发黑。尺寸偏差片几何尺寸超过二级品的范围。