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硅片插片作业指导书

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硅片插片作业指导书

浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 1 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项1、准备工作戴好手套,准备好片盒,清理机器槽内碎硅片、胶条等杂物,将片盒摆放整齐,做好准备。手套插片盒2、设备启动 将主电源开关打开 .按下 ,电源 按纽。浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 2 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项3、进入操作画面输入密码后进入主画面。可设置三组密码浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 3 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项4、放片盒在操作面板上按 “ 上行 ” 按纽,使晶片盒固定架升起。把晶片盒装入固定架中 插片盒片盒要放到位变形和破损的片盒禁止使用浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 4 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项5、打开循环水小水槽水位开关调节,要确保小水槽水位到达溢流出口。将小水槽进水开关调至约1/4 开启状态。控制溢流水流量不能太大。6、取片脱好胶的硅片可从周转车转移至机器槽内暂放区,注意粘胶面朝上放置,每次取片30 片左右, 且需要注意取片时粘胶面正对着身体。如硅片较脏、不易拉开,需复冲洗。注意粘胶面位置放 置 及 取 片 数量、硅片冲洗干净浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 5 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项7、插片调节润滑水流开关, 防止硅片粘结在一起,利于取片。然后向滑台内一片一片轻放硅片,硅片在水流带动下滑入晶片盒;在硅片经过感应器后, 晶片盒架自动上升一格,仪表计数一次。 插完第一个晶片盒的第 24片时,报警器提示这盒即将插满,插完第25 片时暂停插片, 待固定升降架自动升到第 2 个晶片盒时再进行插排片,直到第 3个晶片盒插满硅片, 设备进行提示, “ 当前数量 ” 显示 75。避免碰到两边滑条,每盒插至最后一张硅片后,需待报警解除后再插片8、取片盒插片完毕后,双手捏住片盒边缘,顺势将片盒取下,每次取一盒,放入水槽中,注意水槽中的水要没过硅片把空的晶片盒放入固定架的夹具内,启动 “ 下行 ” 开关后晶片盒固定架自动降到最下点,仪表 “ 当前数量 ” 自动清零,即可进行下一次排片了。若硅片受阻滞留于倒向槽并超过一定时间 (由程序设置) , 系统会发出警告。每次取一盒浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 6 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项9、插片过程 碎 片 出来正常插片至任意片数出现碎片 (第 25, 50,75 片除外),按“上行”(但升降架不能至最上位)、按“急停”、拿掉碎片、按“下行”,能回至上次碎片位置处继续正常插片。 如连续按急停处理失败, 需按 “上行”升至上位后将已插片的片盒取出、手工插片补足,重新安装空片盒,再按“下行”后重新插片。明显缺陷硅片不放入滑台插片,减少报警处理而浪费时间10、 水箱处理关闭设备电源、打开设备后部下面大、小水箱排水阀、 小水槽排水阀; 如发现堵塞,可进行反冲, 打开反冲阀 (在过滤器下方)3-4 分钟,清洗大、小水箱、小水槽,清洗过滤器和小水箱内网兜;关闭小水槽排水阀,关闭大、小水箱排水阀,关闭反冲阀。发现水浑浊或碎片堆积较多时需清理,完毕后必须关闭相应出水阀门浙江昊能光电有限公司插片作业指导书产品名称 太阳能硅片 工 序 硅片清洗 作业工序名称 半自动插片 页码第 7 页 共 7 页文件编号 HN-QX-008 版 本 A/0 生效日期 2015 年 6 月 18 日步骤 操作标准及方法 图文说明 使用工具及 物料 注意事项11、 自动进水在排水后使用,打开机器后面进水阀门,低于下水位,红灯蜂鸣有报警,进水阀自动开,此时水泵不能运行;进水盖过下水位, 红灯蜂鸣报警停止, 进水阀继续进水,水泵能运行; 水泵开, 打开小水槽进水阀,使之注满水,关闭小水槽进水阀,此时能正常插片;至上水位,进水阀自动关,不影响正常插片。硅片暂放区水流大小依据浑浊度调整,确保水中硅片可识别注意事项1 硅片搬运需小心轻放;2 严格按工艺文件操作;4 从插片机取出硅片篮时务必双手顺势取出;5 插片机暂停工作时,请及时关闭进水阀及相关电源 ; 6 发生异常或机器故障时可及时按 “ 急停开关 ” 停止作业;7 非指定人员,请勿擅自更改工艺或设置;8 随时保持工作场所的清洁,做好 5S;11 滑台水流量、储片水槽水流量、各排水阀的调节均在机器右侧;水箱水位可由溢流管、溢流孔进行微调;12 当出现水流量明显减少时,应及时停机清理水过滤器;清理过滤器时应在停机状态下进行;13 装片水箱排水口设有挡污滤网,排空存水后,可取出碎硅料、杂物等。

注意事项

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