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硅片-电池片流程

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硅片-电池片流程

电池片流程1、 车间段位构成WHQ 硅片为太阳能电池片的载体, 硅片的质量决定了电池片的转换效率。 而该工序则是对硅片的来料检测,主要是包括厚度, TTV,电阻率,外观(破片,缺角,孔洞,脏污)需注意 1 切割方向会厚薄不均,放片时需 180 度错落放置以保证放入载体厚薄均匀,切割方向需要垂直与印刷细栅方向,预防水波纹出现。2 线痕 单线痕密集线痕3)原硅片因切割后因有清洗所以会有粘度导致原硅片粘连,放置时需轻微摇晃。制绒 目的去除表面损伤层,对表面进行凹凸处理,清楚表面硅酸钠,氧化物,油污以及金属。以提高光电转换率。需注意 减重,活性不均匀会影响到后面 PEVCD工序使硅片出现问题制绒过程中,制绒面朝下,装入载体,载体单孔面为制绒面。在制品时间为两小时,两小时内要及时送入下一工序。扩散制结 太阳能电池需要一个大面积的 PN 结以实现光电转化,而扩散炉就是制造太阳能电池 P-N 结的专用设备。 扩散用三氯氧磷为扩散源。 在 830 度的高温下用氮气将三氯氧磷带入石英容器, 通过三氯氧磷和硅片进行反应, 得到磷离子, 通过硅原子质检的空隙向硅片内扩散,形成 P-N 结。需注意 石英舟一舟可放置 500 片,扩散面需跟制绒面在同一面上,扩散为单面扩散,工艺流程为 83 分钟。湿法刻蚀 利用 HNO3 和 HF 的混合液体对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀 ,去除边缘的N 型硅 ,使得硅片的上下表面相互绝缘。需注意 刻蚀分为干湿两法,目前采用湿法,刻蚀后需做亲水性测试。如何判断亲水性是否良好用纯水滴在硅片上看硅片上的扩散面积。机械臂流片需要返工因臭氧层丢失。PEVCD 镀减反射膜可以有效降低光的反射 . 需注意 石墨舟一周可放置 240 片硅片,流程为 50 分钟,在此阶段会发生色斑,色差等问题。丝网印刷 把带有图案的模版附着于丝网上进行印刷 ,通常丝网由尼龙、聚酯、丝绸或金属网制作而成 ,承印物直接放在带有模版的丝网下面,浆料在刮刀的挤压下穿过丝网间的网孔 ,只有图像部分能穿过,印刷到承印物上印刷流程为背电极背电场正电极。需注意 断栅问题会出现在此工艺段。也是电池片的最后一大工艺段。

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