电池片返工处理流程

海 润 光 伏 科 技 股 份 有 限 公 司江 阴 海 润 太 阳 能 电 力 有 限 公 司电池片返工处理流程编 号 Q/HRHT-005 版 本 A/0 编制人 /日期审核人 /日期批准人 /日期2010-05-14 发布 2010-05-XX 实施海 润 光 伏 科 技 股 份 有 限 公 司江 阴 海 润 太 阳 能 电 力 有 限 公 司 发布文 件 制 修 / 订 记 录 表修订日期修订后版本号修订内容 修订人 审核人14/05/2010 A/0 初次制定 史小江 XXX 需要培训部门会签部门生产部生产计划部工艺部质量部动力部设备部研发部采购部物流部安环部财务部行政部销售部人力资源部信息技术部企管部文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 1 / 41 目的明确各段返工片和跨段处理返工片的作业流程，确保返工片及时快速的处理，把对效率和碎片的影响降到最低；2 范围本标准适用于工艺、生产及质量各部门涉及人员；3 职责为了确保返工片清洗顺利进行，明确返工片处理过程中的职责划分和处理规范。3.1 返工片处理规定 处理返工片采取当段返工当班处理， 星期五集中下传；跨段返工每周五集中返前段； 返前段处理硅片时需要质量确认是否达到返前端标准，对于质量偏轻无法返前段硅片，有质量确认后方可下传，返工片命名必须按命名规则命名，不得与其他硅片混片。3.2 返工片处理流程出现失败片 （超出工艺范围通知工艺）返工正常，按命名规则命名，并附实验单下传返工片集中当班处理返工异常，通知工艺并暂存，周五集中返前段处理或报废返工正常，按命名规则命名，并附实验单下传前 段 按 照返工处理返工异常，通知工艺并暂存，周五集中返前段处理或报废文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 2 / 43.3 工艺职责提供当段和前段返工片处理工艺， 对无法返工硅片进行确认报废 （报废流程详见质量部硅片报废流程） ；接到返工片异常后，工艺进行异常分析和提供异常处理的办法；3.4 生产职责对当段返工片进行监控，如有异常及时反馈给工艺和相关部门 异常反馈标以各段工艺提供数据为准 ；接到前段返工处理片，按照返工流程进行返工并及时通知当段工程师；3.5 质量职责 对无法返工的硅片进行确认，确认返是否符合返前端标准，是否达到报废标准和报废数量；4 各段返工流程4.1 制绒返工片流程4.1.1 制绒返工片处理流程及职责划分责任部门生产部 /工艺部 /质量部责任部门生产部责任部门生产部责任部门生产部4.1.2 制绒返工片处理规范4. 1. 2. 1 制绒返工片标准针对不同的异常片进行分类，质量大于等于 5.2g 的花斑片均可以返工，质量小于 5.2g 大于等于 4.48g，直接下传，质量小于 4.48g，申请报废。4. 1. 2. 2 类型及处理措施第一大类库存时间小于 24h，按照以下流程进行返工1. 发白和发亮返工 酸洗 水洗 酒精润洗 制绒槽返工工艺减重比较小且返工效果最好；2. 白斑返工 H2O2 润洗 制绒槽返工工艺以氧化和蚀刻来底切和去除表面颗粒、有机污染物及部分金属化污染物 . 第二大类库存时间大于 24h 的制绒库存后的花斑异常片1. 为预防制绒槽的污染，在处理这些异常片时使用单槽制绒机。确认返工片将返工片分类装入蓝中根据不同花斑类型确定不同的返工工艺扩散文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 3 / 42. 实行 H2O2 润洗水洗 酒精润洗流程进行返工。4.1.2.2 制绒返工片处理规定1. 返工片按照分类处理；2. 产生后及时处理处理；3. 在做返工之前，按照正常生产的流程，每组测试 6 片前重，对应的 6 片后重，将相应的减重填写在返工片的流程单上，并附上返工单；4. 第二大类返工完后溶液不允许做正常生产的硅片。4.1.2.3 制绒处理片确认由质量和工艺共同确认返工片返工前是否达到返工标准和返工数量及类型；返工后的硅片，质量无异常正常下传，质量偏轻，质检盖偏轻章下传。4.1.2.4 制绒各类返工处理流程图4.2 扩散返工片流程4.2.1 制绒后清洗不干净硅片4.2.1.1 异常表现 接制绒传过来的硅片清洗不干净， 即清洗后的硅片有大片液滴黏附， 见下图 （图一） 。图 1 文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 4 / 44.2.1.2 评审报告流程 出现制绒后清洗不干净硅片时， 操作人员应及时通知班组长和当班工艺工程师。4.2.1.3 制绒后清洗不干净硅片流程图扩散前清洗不净片氧化 15分钟进行正常扩散前清洗 正常扩散转异常片下传或报废检查是否清洗干净是否6.2 4.2.2.2 扩散工艺完成后硅片的方块电阻异常4.2.2.1 方阻异常表现 OOS一点或多于一点阻值超出 SPEC 范围； OOC单组、单片或单点超出 CL 范围 ,但单点在 SPEC 范围内；方阻规格定义硅片类型 SPEC CL 单晶 R2 工艺37Ω ≤ 单点 Rs≤ 57Ω 39Ω≤ 单点 Rs≤ 55Ω42Ω ≤ 单片 Rs≤ 52Ω 44Ω≤ 单片 Rs≤ 50Ω44Ω ≤ 单组 Rs≤ 50Ω 45Ω≤ 单组 Rs≤ 49Ω4.2.2.2 方阻异常评审报告流程出现方块电阻 OOS 时，质检人员应及时通知班组长或当班工艺工程师进行处理和调节，将电阻异常超出下限 3Ω /□或超出上限 1Ω /□的超标时附实验单下传，追踪效率，将超出该范围的超标片转为处理片，集中处理； 出现方块电阻 OOC 时，质检人员应及时通知当班组长和工艺工程师，及时进行调整，无需转处理片。方阻异常片处理流程（非偏轻片） 超出上限Rs 异常超出下限工艺工程师附实验单下传，追踪效率低出下限 3Ω / □、高出上限 1 1 Ω / □超出下限 3Ω / □、超出上限 1 Ω / □ 以内返回制绒，重新做小绒面制绒制绒后返超净正常清洗、扩散Rs 是否正常否是下传转异常片下传或报废文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 5 / 4方阻异常片处理流程（偏轻片） 4.2.2.3 补扩散规则当清洗干净后，再每 50 片抽测 3 片测试电阻， 单晶 V01 工艺当电阻在58-70 欧姆之间时，第四步为 10 分钟，第五步为 10 分钟，在 71-80 欧姆之间第四步为 20 分钟，第五步同上， 在 81-100 欧姆之间时， 第四步为 30 分钟， 第五步同上。 当电阻大于 100 欧姆时， 重新扩散，扩散完后，进行电阻测试，电阻异常时通知工艺工程师，方阻异常片经过一次处理后，结果无论正常与否，不再转处理片，进行二次处理。4.2.3 扩散后的硅片上出现残余磷源或烧焦4.2.3.1 异常表现 见下图（图 2）首先判断烧焦片的严重程度，如果烧焦程度严重，无论是正面还是背面一律不得下传，主要分为一下几类1. 面积较小的烧焦片， 观察烧焦部位的颜色， 如果颜色为浅黑色， 则可以颜色为深黑色则不得下传。2. 当烧焦片颜色较深的部分距硅片边缘不到 1mm 时， 则可以直接下传， 若大于 1mm 时则不得直接下传。3. 轻微烧焦片当烧焦片烧焦片颜色较深的部分距边缘大于 1mm 小于 3mm ，或烧焦片麻点数量不超过 10 个的烧焦片可暂存车间，集中整组附实验单下传。超出上限Rs 异常超出下限工艺工程师附实验单下传，追踪效率进行正常扩散前清洗根据 Rs值按照作业指导书里规定工艺进行补扩散，测量 RsRs是否正常下传否是转异常片下传或报废文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 6 / 44.2.3.2 评审报告流程 如果出现烧焦 10 片以下 /组时，操作人员应详细记录异常记录单，如果出现烧焦 10 片以上 /组或滴源片时，操作人员应详细记录异常记录单，并及时通知当班工艺工程师 ; 出现烧焦片，由卸舟员工分为严重烧焦和轻微烧焦片，暂存车间；严重烧焦片需转处理片，集中处理；轻微烧焦片可暂存车间， 集中附实验单下传 , 滴源或烧焦片制绒后返回超净车间， 若扩散后再次出现严重烧焦，需做报废处理 . 滴源和烧焦片处理流程4.2.4 扩散反片处理流程4.2.4.1 评审报告流程 卸舟时发现扩散反片时， 操作人员应将扩散反片挑出， 转处理片后集中处理 . 扩散片处理流程制绒后正常绒面一正一反装篮进手工 5酸槽清洗2min水洗2min正常工艺扩散氧化工艺氧化 15min检查是否清洗干净是否扩散反片测电阻正常后，附实验单下传进手工 5酸槽清洗2min水洗2min正常工艺扩散测电阻正常后，附实验单下传4.2. 5 变形及裂痕片处理流程4.2. 5.1 评审报告流程 出现变形及裂痕片时，操作人员应详细记录异常记录单，并及时通知班组长和当班工艺工程师。4.2.6 扩散各类返工处理流程图文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 7 / 44.3 镀膜返工片4.3.1 返工片处理流程及职责划分责任部门生产部 /质量责任部门生产部责任部门生产部责任部门生产部4.3.2 清洗镀膜失败片处理规范1. 返工片按照分类处理和产生后及时处理的原则进行处理， 根据返工片膜厚和原因分为彩虹片，发白片，色差片和花斑片分成四类，分别用不同的镀膜失败片清洗工艺清洗；2. 每次产生返工片后，直接置于清洗花篮中，尽量避免硅片与手的多次接触，造成二次清洗后的二次返工片； 在装入花篮时， 镀膜面为正面 ,勿将正反面搞混， 以免造成清洗后混片。3. 不同类型的返工片要按照工艺规定的不同工艺进行清洗，在返工片清洗槽处清洗完毕后，须走去 PSG清洗机进行二次清洗； 去 PSG 清洗时清洗若出现清洗不净， 请立即通知工艺；生产按照返工片进行分类和确认并附返工将返工片分类装入清洗篮分别用不同工艺清洗清洗返工片确认清洗效果PECVD镀膜文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 8 / 4清洗完毕，确认清洗干净且甩干后，将硅片送往 PECVD 镀膜；对二次镀膜过程中产生的失败片，清洗完毕后集中返超净处理，禁止清洗完毕下传 PECVD ；4. 硅片返制绒之前，每组测试 20 片前重，若其中 8 片超过 5.2g，硅片直接在本段进行返工不返制绒，当花斑片周五集中下传；4.3.3 清洗镀膜处理片确认由质量和工艺共同确认返工片返工前是否达到返工标准和返工数量及类型； 对于返制绒硅片， 称取 20 片质量无异常正常下传， 质量偏轻质检盖偏轻章和花斑章下传。4.3.4 清洗镀膜失败片处理流程4.4 印刷返工片4.4.1 印刷返工片处理规范1. 返工片按照分类处理和产生后及时处理的原则进行处理， 下班前 2 个小时集中处理当班产生的返工片；2. 返工片数量如实反映给工艺和质量；4.4.2 印刷返工片类型及判断标准文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 9 / 41. 背电极严重印偏，背电场已遮盖不住，会露出硅片；2. 背电场印刷严重偏移，浆料已经接触到电池片的边缘；3. 背面铝浆（背电场）缺失已无法修补且无法重印；4. 二号机粘片造成的印刷不良品；5. 三号机造成的漏浆、印偏、粗细不均、细栅断开、虚印等不符合质检检验标准的不良。6. 烧结半成品由于烧结炉运转非正常等原因，引起的第一次烧结未成功的电池片。7. 边缘漏浆或刻蚀不净4.4.3 印刷返工片处理方法由背电极、背电场、正栅部分印刷不良造成的返工片必须将背面进行酒精擦拭，擦拭过程不能污染镀膜面，并将其从本批次流程单上剔除并标明转处理片 XX 片；由于烧结炉运转非正常等原因，引起的第一次烧结未成功的电池片， 将其从本批次流程单上剔除并标明转处理片 XX片， 重新烧结下传。4.4.4 印刷返工片处理流程图5 返工处理片命名规则1） 处理片统一用流程单号区分；2） 流程单号编码如下NA XXXXXX XX XXX XXX-X 5、硅片类型代码4、序列代码3、硅片尺寸代码2、工序代码1、日期代码NA所有处理片统一命名片源为 NA 1、 XXXXXX日期代码例 2010 年 5 月 10 日处理的返工片为 100510 2、 XX工序代码制绒车间返工片为 ZR，超净车间为 CJ， KP车间为 KP，印刷车间为 YS 文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 10 / 43、 XXX硅片尺寸代码 125S编码为 150,125SL 为 165,156S 为 2004、 XXX序列代码当天当段返工的第几组，如当天当段返工的第 2 组为 0025、 硅片类型代码单晶为 S，多晶为 M 例如2010 年 5 月 10 日超净段返工的第一组 125SL的单晶片编码为NA100510CJ165001-S 5 记录4.1 按照 “ 返工片命名规则 ” 进行命名，填写返工单，由生产统计汇总在电池性能汇总；6 附件6.1 附件返工单文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 11 / 4返工单返工单号 联络人 电话数 量 批号 质检返工章返工工段 □ 制绒返工 □ 扩散返工 □ 刻蚀清洗返工 □ 镀膜返工 日期 备注制绒○ 本段返工片返工片类型 □ 设备限定 工艺确认 __________ 生产操作 __________ □ 减重 6 片平均 _ STD_ □ 反射率平均 _ STD_ 制绒时间○ 后段返工片返工片类型 单槽制绒设备 制绒时间 生产操作 __________ □ 制绒后 PN 型检测 4 片正常片数 异常片数 异常工艺确认 __________ □ 制绒后减重 6 片平均 _ STD_ □ 反射率平均 _ STD_ 测量员 ______ 超净○ 返制绒处理□ 烧焦片 □ 电阻异常片 □ 其他 ______ □ 工艺确认 ______ □ 装篮操作 ______ 篮号 _____ _____ _____ _____ _____ _____ _____ ______ 片数 _____ 刻蚀PECVD ○ 本段返工返工类型 □ 彩虹片 □ 发白片 □ 发红色差片 工艺确认开始时间 生产操作结束时间 清洗机台○ 返制绒处理□ 彩虹片清洗不净（表面无氮化硅） □ 刻蚀后清洗不净 □ 二次镀膜后花斑失败片□ 本段清洗开始时间 结束时间 清洗机台 操作员篮号 _____ _____ _____ _____ _____ _____ _____ ______ 片数 _____ □ 工艺确认异常记录※生产必须按照返工片命名规则进行命名，如 NA100524PE165002-S※遇到异常请立即联系值班工艺工程师，并由值班工程师通知相关人员※工艺工程师记录异常状况以及处理情况。异常类型 流程单号 电话数 量 实验时间 联络人工号工号工号烘干工号氧化工号工号工号工号 工号超净返工片工艺流程扩散反片是否清洗干净检查表面正常方式装篮扩散前正常清洗烘干后氧化 15minYN正常装舟、扩散方阻正常后附实验单下传5槽酸洗、水洗是否清洗干净Y通知工艺，转异常片或报废N异常类型 流程单号 电话数 量 实验时间 联络人工号工号工号工号工号工号超净返工片工艺流程清洗不净扩散前清洗干净扩散前清洗不净烘干后单片装舟氧化（工艺指定炉管）工艺 YANGHUA通知工艺，异常暂存YN正常装舟、扩散方阻正常后附实验单下传文件名 HR-XX-XXX （宋体小四） [X/X] 12 / 4