Centrotherm公司的主要介绍

Centrotherm 公司的主要介绍■ 公司地址 Centrotherm Photovoltaics GmbHCo.KG Johammes-Schmid-Str.8 89143 Blaubeuren Germany ■ 公司电话 49 7344 9188-803 ■ 公司传真 49 7344 9188-388 ■ 公司邮箱 info-pvcentrotherm.de■ 公司网站 www.centrotherm.de产品流程 硅料 硅片 太阳电池 组件 发电系统Centrotherm 公司给以下世界主要电池生产厂家提供 PECVD 设备（日本除外） 交钥匙工程■ 与我们公司共同设计厂房和外围设施■ 电池生产线■ 太阳电池的设计■ 太阳电池生产技术的转让■ 人员的技术培训■ 设备的启动■ 生产工艺电池生产线的交钥匙工程主要包括以下几部分■ 硅片的检测设备■ 切割损伤层的 HF 腐蚀和制绒设备■ POCL 3 发射集扩散设备■ PSG 清除设备■ 镀 SiN 抗反射膜设备，包括 H 沉积设备■ 丝网印刷设备和浆料干燥设备■ 快速烧结设备■ 周边刻蚀设备■ 电池的测试和分选设备Centrotherm 公司的服务范围■ 太阳电池生产线的交付和技术培训■ 太阳电池生产线最佳生产工艺说明书■ 整体工艺，包括每个工序之间的最佳连接■ 与用户共同商议基础设施方案■ 生产线的布置图■ 帮助用户启动设备和进一步的改进工作■ 安排用户与有关的研究所建立联系■ 交钥匙工程包括交付标准的丝网印刷电池生产线和转让研发技术市场信息用户主要是根据成本 /瓦的标准来选择绝大多数（ 90以上）的太阳能发电系统 。工艺技术方面生产成本硅片 66 浆料 9 原材料 7 设备投资 8 外围设施投资 4 劳动力 6 合格品率，效率和设备利用率合格品率的提高■ 硅片的检测■ 设备稳定■ 在线监控■ 合格的人员效率的提高■ 优化的电池生产工艺■ 优化的生产设备■ 硅片的检测■ 在线监控■ 合格的人员设备利用率的提高■ 硅片的检测■ 优化的设备接口■ 减少了中间的操作环节■ 在线监控■ 合格的人员太阳电池的生产工艺1． 硅片的检测- 2D 检测- 3D 检测- 电阻率- 使用寿命2． 湿化学腐蚀- 切割损伤层的腐蚀- 制绒（酸，冷却槽）- 制绒（碱 IPA， 加热槽）3． P-N 结的形成- 双面扩散- 单面扩散- 链式扩散4．去除正面和背面的短路- 等离子刻蚀- 湿腐蚀- 激光切割（在电池分类前）5．去除磷硅玻璃（氧化层）- 湿化学腐蚀6．镀抗反射涂层（氮化硅）- 利用 PECVD 工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层-- H 钝化- 利用 LPCVD 工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层7．正面接触式印刷8．正面接触式干燥9．背面接触式印刷10．背面接触式干燥11．印刷铝浆12．干燥铝浆13．烧结- 正面和背面接触式烧结- 烧结抗反射涂层- H 钝化14．利用激光切割技术消除正面 -背面的短路15．太阳电池的分类- 根据效率进行分类- 根据填充因子进行分类- 根据外观进行分类太阳电池的生产流程（利用等离子刻蚀技术进行周边刻蚀）一摞硅片 腐蚀片盒 腐蚀片盒 硅片落成摞或一个硅片 或一个硅片腐蚀片盒 片盒 一个硅片 一 一个硅或一个硅片 或一个硅片一个硅片一个硅片 一个硅片切割损伤层的腐蚀设备■ 槽式系统- 配备片盒- 能在单晶硅片上进行碱式制绒，在多晶硅片上进行酸式制绒硅片的检测和一摞硅片的分离设备硅片的检测和一摞硅片的分离设备■ 2D 检测■ 3D 检测■ 电阻率的测试■ 使用寿命的测试■ 微小裂纹的探测■ 一摞硅片的自动分离检 测硅片切割损伤层的腐蚀 /制绒POCL3 扩散等离子刻蚀技术进行周边刻蚀腐 蚀片盒 氧 化 层的腐蚀 PECVD 抗反射涂层 SiN 正 面 接 触式印刷 干燥 背 面印刷一 个硅片 干燥 印 刷Al-BSF 干燥和烧结 测试和分选■ 100的检测■ 无人操作■ 碎片率低■ 硅片的分离量高且稳定切割损伤层的腐蚀设备■ 槽式系统-- 配备片盒--- 能在单晶硅片上进行碱式制绒，在多晶硅片上进行酸式制绒--- 能在一个系统中进行单晶和多晶硅片制绒■ 链式系统--- 不需要片盒--- 能在多晶硅片上进行酸式制绒槽式湿腐蚀用的片盒片盒的芯层是不锈钢材质，外表面是塑料材质。去除切割损伤层用片盒的优点■ 由于是不锈钢芯层，所以很稳固。---- 对于使用片盒的下级设备（不需要再处理硅片）尤其重要。■ 硅片和片盒之间点接触---- 便于放入化学试剂，且干燥效果很好，没有残留物和污物。■ 双层塑料■ 能放入 100 片硅片---- 不需要另外的提篮就能运送大量硅片切割损伤层的 HF 腐蚀设备■ 预腐蚀 /清洗槽----- 先去除硅表面的污物，以免污染主清洗槽■ 能制绒的主腐蚀槽----- 槽内有腐蚀单晶硅片的碱液----- 槽内有腐蚀多晶硅片的酸液■ HCL 和额外的 HF 腐蚀槽----- 去除杂质和硅片表面的疏水物■ 全自动工作模式---- 无手动操作■ 硅片腐蚀前后的自动在线测量（槽式清洗机）---- 测量腐蚀前后带有硅片的片盒重量■ 输入和输出有缓冲器（槽式清洗机）---- 可以避免生产过程中的中断现象HF 腐蚀设备（不包括单晶和多晶硅片的制绒设备）HF 腐蚀设备（包括多晶硅片的制绒设备）槽式切割损伤层的 HF 腐蚀设备（ IPA 或者酸式制绒）链式切割损伤层的腐蚀设备（酸制绒设备）■ 在酸性冷却槽内制绒■ 碱性清洗■ 漂洗 1 （ DI- 水）■ 酸性清洗■ 漂洗 2 （ DI- 水）■ 干燥链式切割损伤层的 HF腐蚀设备（酸制绒设备）Batch-type 管式扩散配备装载站的扩散系统Batch-type 管式扩散 ----- 软着陆管式扩散炉 ---密闭的管密闭的管将桨移出管下面的桨装入管内排气气体入口排气补偿室气体柜 炉子绝缘材料加热器扩散管 门Batch-type POCl 3 --- 管式扩散的优点■ 最适用于磷的扩散---- 气象扩散，且没有污物和氯气，不会污染其它部件---- 扩散效率较高■ 发射集的电阻较大---- 吸收率小，载流子的再复合量较少---- 效率较高■ 能在硅片双面扩散---- 扩散的磷能改善硅片质量---- 扩散效率较高■ 扩散环境很干净---- 扩散室内只使用石英■ 洁净程度较高---- 独特的密封管系统可以避免污染环境Batch-type POCL 3 ------ 管式扩散的优点■ 全自动工作模式--- 没有手动操作■ 扩散量较大--- 能自动将背对背式硅片装入一个槽内■ 发射集电阻的在线式自动测量--- 用于石英舟的卸载■ 入口和出口处有缓冲器--- 能避免生产过程中的中断现象POCL 3 在线式连续扩散POCL 3 在线式连续扩散的优点■ 扩散量较大■ 能连续操作■ 用户的操作成本较低■ 整体扩散的均匀性较好（每一个硅片的扩散工艺几乎都相同）周边刻蚀■ 等离子刻蚀（不考虑）■ 激光刻槽---- 在正面，在靠近边缘处---- 在烧结炉与电池分选仪之间■ 湿刻蚀 （单面刻蚀）周边刻蚀 -----激光刻槽周边刻蚀 ----湿腐蚀■ 硅片漂浮在腐蚀液上--- 如果腐蚀液蔓延到前面，可能会损伤正面■ 能去除侧面和背面的 PN 结■ 刻蚀量较大--- 能在线刻蚀■ 没有手动操作■ 能与氧化层腐蚀系统连为一体周边刻蚀 ---- 湿腐蚀去除氧化层的 HF 清洗设备去除氧化层的 HF 清洗设备的优点■ 可用于链式■ 能全面干燥---- 能避免残留物， 污染和污点■ 全自动工作模式---- 没有手动操作■ 入口和出口有缓冲器（槽式）--- 能避免生产过程中的中断现象氧化层的腐蚀设备（槽式）氧化层的清洗设备（ 链式 ）镀 SiN- 抗反射涂层的 PECVD ■ 抗反射涂层■ H 钝化槽式 PECVD--- 反应器槽式 PECVD 炉内照片槽式 PECVD 石墨舟槽式 PECVD---- 自动系统自动装卸载系统槽式 PECVD---- 手动系统自动化的 PECVD 工艺流程印刷机印刷机的优点■ 全自动操作模式--- 没有手动操作■ 光学校正硅片与丝网之间的准直性--- 校直期间不会损伤硅片■ 印刷量较大--- 多个照相系统能保证快速校直■ 能在线自动检查印刷效果--- 硅片送至干燥机期间的一个选项■ 入口和出口有缓冲器--- 避免生产过程中出现中断现象印刷铝背场的优点■ 在电池背面印刷铝背场--- 形成掺杂铝的 P层，作为“电子镜”--- 能提高转换效率■ 其它作用--- Al 扩散，能改善硅片的质量--- 能提高转换效率快速烧结炉快速烧结炉干燥机的工作原理至补偿器 /排泄系统气帘红外线辐射器气体加热器风机气帘传送带溶剂补偿器浆料干燥机的优点■ 能全面干燥---- 可保证均匀地干燥整个浆料表面，且不会形成一层表皮。■ 炉腔内预热空气的流量很大---- 能避免硅片上出现凝块■ 仅接触硅片边缘----- 利用 v-形传送链输送硅片■ 全自动操作模式---- 没有手动操作■ 水冷补偿器---- 可避免有机物蒸汽渗透入排气通道出口 入口-快速烧结炉快速烧结炉加热区带有干燥机的烧结炉的测试曲线利用一个跟踪器 /数据记录器和固定在硅片上的热电偶测出的曲线印刷线和配备快速烘干机的烧结炉配备干燥机的烧结炉的优点■ 烧穿区域很长--- 能去除所有的有机物--- 填充因子较大--- 烧结效率较高■ 传送带速度很高配备干燥机的烧结炉的优点■ 烧结量较大---- 传送带速度较高■ 与干燥机连为一体---- 减少了一个干燥过程■ 全自动烧结模式---- 没有手动操作■ 很容易进入硅片的处理装置--- 烧结炉内只有一个硅片通道周边刻蚀 ----激光刻槽■ 激光刻槽--- 在靠近硅片边缘的正面---- 可避免损伤硅片边缘■ 不会去除硅片侧面和背面的 PN 结■ 刻蚀量很大---- 链式生产■ 不需要手动操作■ 与电池分选系统连为一体周边刻蚀 ---激光刻槽电池测试仪和分选仪电池测试仪和分选仪的优点■ 能测量和记录所有的设定参数■ 按光学等级分类电池■ 将每一光学等级的电池按电气等级分选出来■ 测量和分选的电池量较大■ 全自动操作模式--- 不需要手动操作■ 可以其它的测量装置连为一体在线质量监控装置■ 硅片检测仪■ 在腐蚀切割损伤层或制绒期间，检查损伤层是否去除■ 无接触式测量扩散后的方块电阻■ 利用安装在 PECVD 自动装卸载系统上的彩色照相机监控抗反射涂层的厚度和均匀性■ 利用每一个印刷机后的照相机和图形处理系统检查印刷效果和电池的各种图形■ 利用与电池分选仪连为一体的彩色照相机和图形处理系统检查电池的光学性能